HS-ATS-100硅片電池片自動測試架是使用單板機可編程控制,步進電機驅動,絲桿滑動,定位精確,操作方便,可隨意調節探頭的下降zui低點,上升zui高點固定,探頭在zui高zui低點的停留時間范圍廣(從0-20秒)。硅片硅錠均可測量,zui大可測量高度為90mm(可按用戶要求加高),探針頭zui大有效行程12mm,測試臺面zui大直徑200mm。
2、使用方法
電機在電源開關接通和按停止按鈕后自動上升至zui高點,進入備用狀態。
(1)自動: 按自動按鈕電機就按設定自動上升和下降。上升的zui高點是固定不變的,下降的zui低點可以隨意調節,在zui高和zui低點的停留時間是可調的。當電機進入自動狀態時按其他功能按鈕均無效,如需停止運行進行其它操作,按下停止按鈕1秒即可。
(2)手動: 按一下手動按鈕電機就下降至當前設定的zui低點,再按一下就上升至zui高點。
注:如需重新設定zui低點時,設定結束后先按停止按鈕再進行手動操做。如在剛設定好zui低點后直接按手動按鈕探頭會下降到導軌的zui低點,(行程開關接通為止)可能會對被測試物品造成損壞。
(3)定位: 當需要重新修改探頭下降的zui低點時,設備必須在備用狀態下才可進行修改,修改前要先把以前的數據清除掉,按定位清0即可。之后按定位按鈕,每按一下探頭就往下移動0.2 mm,數據自動加1,zui大數據約為50-60,到達導軌的zui低點時行程開關接通數據自動回0,再按定位按鈕無效。探頭下降的zui低點設定好后按停止按鈕1秒,就可以進行自動或手動操作。
(4)定位清0:在需要重新設定探頭下降zui低點時使用,按下后清除原有數據,以便重新設定。
(5)上延時: 設定探頭在上升至zui高點時需要停留的時間,先按上延時按鈕功能窗口顯示UP,這時按 調整到需要時間。時間調節范圍從0-50秒,每按一次數據自動+或-1(范圍為0-255),對應時間約為1≈0.2秒,時間設定好后再按上延時按鈕確定。
(6)下延時: 設定探頭在下降至zui低點時探頭需要在被測樣品上的停留時間,先按下延時按鈕功能窗口顯示d∩,這時按 調整到需要時間。時間調節范圍從0-50秒,每按一次數據自動+或-1(范圍為0-255),對應時間約為1≈0.2秒,時間設定好后再按下延時按鈕確定。
(7) :設定探頭在下降至zui低點或探頭在上升至zui高點時的停留時間,每按一次數據自動+1(范圍為0-255),大于255時自動回0,對應時間約為數據1≈0.2秒
(8) :設定探頭在下降至zui低點或探頭在上升至zui高點時的停留時間,每按一次數據自動-1(范圍為0-255),小于0后自動跳到255,對應時間約為數據1≈0.2秒
3、日常維護及使用
(1)測試臺面用久后可卸下研磨避免刮花硅片。測試臺面有3,4,5,6英寸的定位圈,可方便快速中心點定位。
(2)探頭可360度旋轉,探針旋轉到合適位置通過探針頭鎖緊套環鎖定。探針頭組內有緩沖彈簧降低下降時探針對硅片的沖擊,可通過里面的彈簧定位圈調整緩沖彈簧的升縮量。
(3)探針頭組重約650克,一個砝碼重約130克,用電動架測方塊電阻、低阻薄硅片無需加砝碼,在設定探頭下降zui低點時,探針頭底部絕緣片接觸到硅片即可;測量高阻硅片、硅塊可加上一個砝碼配重,在設定探頭下降zui低點時,一般把探針頭組頂起0.2-0.5mm。
(4)在電動架上的機械活動部分需定期加潤滑油,保證活動順暢。在探針頭組上的兩條直線軸承上也需定期加潤滑油。
(5)驅動部分采用了步進電極控制,正常工作溫度小于70℃。
4、主機技術參數
(4)供電電源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:40W
(5)使用環境:
溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
無較強的電場干擾,無強光直接照射
(6)重量、體積:
主機重量:15kg
體積:310×330×400(單位:mm 長度×寬度×高度)