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蘇州尼米茲真空設備有限公司


離子束濺射鍍膜機

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更新時間:2023-03-01 16:43:53瀏覽次數:497次

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產品簡介

德國CuttingEdgeCoatingsGmbH(簡稱CEC)成立于2007年是漢諾威激光中心的衍生公司之一,公司致力于離子束濺射鍍膜設備的研發,生產和工藝開發

詳細介紹

德國Cutting Edge Coatings GmbH (簡稱CEC)成立于2007年是漢諾威激光中心的衍生公司之一,公司致力于離子束濺射鍍膜設備的研發,生產和工藝開發。CEC全自動控制的商業化量產型離子束濺射鍍膜機,除了可以制備常規高低折射率光學薄膜外,其創新性的漸變折射率膜層制備工藝,是離子束濺射技術的發展趨勢之一。該技術在制備高損傷閾值的激光薄膜,復雜濾光片和Rugate 濾光片等應用領域具有優勢。除標準設備外,CEC還可以根據客戶的要求提供定制服務和離子束濺射鍍膜的解決方案。



Navigator 1100生產型型離子束鍍膜系統主要特點如下:

·        主離子源:射頻耦合(頻率:2MHz), 無燈絲, 鈦材質三柵級,

Ø 15cm, 離子束流:≥ 500mA離子能量:1-2keV,氬氣/氙氣或氧氣

·        輔助離子源:射頻耦合,無燈絲, 鈦材質三柵級,  Ø 10cm

離子束流:0 - 200mA,離子能量:100eV-1000eV, 氬氣或氧氣

·        中和器:射頻耦合,無燈絲, 電流900mA

·        靶材:具有兩個面,每一個面可以安裝兩種不同的靶材

·        在直徑400mm范圍內鍍膜均勻性≤1%,無掩模

·        單基片旋轉工件架,旋轉速度:0-120/ 可調

·        石英晶振膜厚控制儀和可見光/紅外/深紫外波段光控可選

·        觸摸屏人機界面,全自動鍍膜控制系統

·        可選項:進樣室,基片加熱或水冷,雙基片工件架等


離子源圖片:











設備照片:






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