污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
蘇州尼米茲真空設備有限公司
德國CuttingEdgeCoatingsGmbH(簡稱CEC)成立于2007年是漢諾威激光中心的衍生公司之一,公司致力于離子束濺射鍍膜設備的研發,生產和工藝開發
Navigator 1100生產型型離子束鍍膜系統主要特點如下:
· 主離子源:射頻耦合(頻率:2MHz), 無燈絲, 鈦材質三柵級,
Ø 15cm, 離子束流:≥ 500mA離子能量:1-2keV,氬氣/氙氣或氧氣
· 輔助離子源:射頻耦合,無燈絲, 鈦材質三柵級, Ø 10cm
離子束流:0 - 200mA,離子能量:100eV-1000eV, 氬氣或氧氣
· 中和器:射頻耦合,無燈絲, 電流900mA
· 靶材:具有兩個面,每一個面可以安裝兩種不同的靶材
· 在直徑400mm范圍內鍍膜均勻性≤1%,無掩模
· 單基片旋轉工件架,旋轉速度:0-120轉/分 可調
· 石英晶振膜厚控制儀和可見光/紅外/深紫外波段光控可選
· 觸摸屏人機界面,全自動鍍膜控制系統
· 可選項:進樣室,基片加熱或水冷,雙基片工件架等
離子源圖片:
設備照片:
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