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當前位置:深圳九州工業品有限公司>>儀表,電子設備>>ulvac-kiko>> MS120A/MS600Aulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵

ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵

參   考   價: 350000

訂  貨  量: ≥1000  臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號MS120A/MS600A

品       牌其他品牌

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2023-04-11 12:29:09瀏覽次數:459次

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材質 其他 流量 01m3/h
驅動方式 其他 性能 耐腐蝕
ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵 泵 MS120A/MS600A
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。
采用ULVAC獨設計的轉子軸,實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區域連續運行。

ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵  泵 MS120A/MS600A


ulvac-kiko真空泵 螺桿型干泵  泵 MS120A/MS600A


MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統的LS系列的基礎上,提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

特點

  • 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。

  • 采用ULVAC特設計的轉子軸,實現高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區域連續運行。

  • 用途

    • 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統,如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

    • 真空熱處理爐真空排氣系統,如燒結爐、滲碳爐等。

    • 鋰電池制造設備真空排氣系統,如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

    • 醫療食品設備相關的真空排氣系統,如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

  • 規格

    型式MS120AMS600AMS1200A
    最大排氣速度 *1m3/h115560980
    到達壓力Pa≦0.6≦0.1
    電源電壓200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
    消費電力概略值 *2kW2.43.13.1
    冷卻水量L/min>4.0
    Purge gas量 *1SLM0~50
    最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
    噪音值 *1dB(A)616264
    吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
    排氣口KF40
    質量 *4kg139241264
    適用規格CE、cTUVus


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