一、真空度不高
1.真空泵溫太高
(1)被抽氣體溫度過高。解決方案：應讓氣體冷卻后再進入真空泵內。
(2)吸入硬物導致真空泵體磨損。解決方案：應拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修復或更換。
(3)真空泵冷卻水流量不夠。解決方案：應加大冷卻水流量。
(4)裝配不當，使轉子軸心位移，造成單面磨損。解決方案：拆開檢查并重新裝配。
2.真空泵油有問題
(1)油位過低。解決方案：加足油量到油標中心線。
(3)油被沾污，油質變壞。解決方案：應更換新油。
(3)油的牌號不符。解決方案：換規定牌號的真空泵油。
(4)油路不通，真空泵腔內沒有保持適當的油量。解決方案：檢查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。
3.真空泵本身漏氣
(1)密封圈漏氣。解決方案：檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈。
(2)氣鎮閥墊圈損壞或未擰緊。解決方案：更換墊圈并擰緊氣鎮閥。
(3)排氣閥片損壞，密封不好。解決方案：更換氣閥片。
(4)真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。解決方案：修整真空泵腔或更換。
(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣。解決方案：拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。
(6)轉簧變形或折斷及旋片動作不靈。解決方案：整修或更換彈簧變形，使轉子積旋片配合良好。
(7) 進氣口的過濾網被堵塞。解決方案：取下過濾網清洗干凈，再裝上去。
(8)因加工不良或磨損造成配合間隙過大。解決方案：檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規定的精度要求進行修復或更換。
(9)真空泵運轉中摩擦發熱。溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。解決方案：通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關部件配合間隙并按規定精度要求進行修理或更換。
二、泵的軸承部位升溫過高
1.軸承外圈松動，發生摩擦。解決方案：更換軸承或軸承蓋。
2.在軸承內潤滑脂裝量太多。解決方案：減少塞在軸承腔內的油量。
3.軸承有所損壞。解決方案：更換軸承。
4.軸承的內外圈配合不當，軸承的間隙過小。解決方案：將軸承卸下，磨小軸頸和增大軸承盒內孔直徑。
三、電機、真空泵運異常
電機超負荷運轉、真空泵在運轉中異常雜音、噪聲、轉動困難或發生“卡死"現象。
1.真空泵溫太高，可參照1款(1)項處理。
2.彈簧變形或斷裂，使旋片受力不均勻而發出沖擊聲。解決方案：更換彈簧。
3.裝配不當，造成單面磨損。解決方案：重新裝配。
4.過濾網損壞，金屬屑、玻璃屑等落入真空泵內，使運轉發生障礙。解決方案：拆真空泵檢查、清除碎屑，修復或更換磨損部件，并裝好過濾網。
5. 真空泵腔內污染嚴重，導致零件銹蝕。解決方案：拆真空泵請洗，去除銹斑，并換油。
6. 真空泵油變成乳濁狀，粘度增大。解決方案：更換新的真空泵油。
7. 真空泵腔、軸和軸套配合過緊，緊成潤滑不良。解決方案：重新裝配并疏通和調節油路，加強潤滑。
8. 電機有故障而產生噪聲。解決方案：檢修電機或給軸承加上潤滑黃油。
四、真空泵漏油、噴油
1.轉軸、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈損壞或裝配不正確。解決方案：仔細檢查并更換玻損的密封圈，裝配螺時，用力要均勻。
2. 因前后端面不平整或端板未壓緊，造成端面漏油。解決方案：將端面修平并壓緊前后端板。
3.進氣口壓強過高。解決方案：設法減少進氣量。
4.箱體有漏孔。解決方案：檢查謂孔部位并堵。
5.油量過多產生噴油。解決方案：放出多余的油。
6.排氣蓋下面的擋油網裝反引起噴油。解決方案：重新裝擋油網。
7.突然暴露大氣引起噴油。解決方案：立即關閉低真空閥。
五、真空泵起動困難
1.真空泵已返油。解決方案：用手扳動皮帶輪旋轉數周，即可起動。
2.由于長期不運轉或停機后未放入大氣，使真空泵腔內充滿真空泵油。解決方案：用手扳動皮帶輪旋轉數周，即可起動。
3.油溫太低。解決方案：應給油加溫或讓室內溫度保持在15度以上，也可以用手扳動皮帶輪旋轉數周，再繼續通電運轉數分鐘，即可正常工作。
3. 油已變質。解決方案：更換新的真空泵油。
4. 電源缺相。解決方案：檢修電源。
六、真空泵抽不出液體
1.沒有灌注液體。解決方案：重新灌真空泵。
2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解決方案：消除雜物。
3.吸入管或真空泵內沒有排凈氣體。解決方案：檢修吸入管路并排凈氣體。
4.吸上高度超過允許范圍。解決方案：按允許吸上高度重新按裝真空泵。
5.壓出管路太細，管路損失太大。解決方案：換適合的壓出管路。
6.使用揚程超過了設計揚程。解決方案：重新選真空泵。
7.輸送熱的、揮發性的介質。解決方案：降低吸程或采用倒灌按裝。
8.轉向反了。解決方案：糾正轉向。
