微型低溫探針冷臺

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更新時間：2024-04-24 15:54:58瀏覽次數：88次

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鄭州科探儀器設備有限公司

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產品簡介

簡要描述：微型低溫探針冷臺，可定低溫制探針臺系統，整套系統包括探針臺真空腔主體、鐵制抗震支架、進口分子泵機組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置

詳細介紹

微型低溫探針冷臺,可定低溫制探針臺系統，整套系統包括探針臺真空腔主體、鐵制抗震支架、進口分子泵機組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置

微型高低溫真空探針臺3軸2.png

一部分：系統及指標描述

1、總體規格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結構與特點

（1）真空腔體：真空度優于6×10^-4Pa。降溫后優于6×10^-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標配4個探針臂。調節范圍x軸12mm ±6mm，y軸12mm ±6mm，z軸12mm ±6mm，調節精度≤5μm。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜

（3）顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率：0. 5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環形照明，帶機械調焦和光學調焦；

（4）變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩定性優于±0.01K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖

（6）系統直流漏電低于10pA

3、含進口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀

4、設備照片（因配置不同，照片僅供參考）

微型低溫探針冷臺

技術參數；

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質	304不銹鋼
腔體內尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質	304不銹鋼
樣品臺尺寸	26X26mm
樣品臺-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺測溫傳感器	A 級PT100鉑電阻
樣品臺溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺測溫誤差	±0.2℃
樣品臺變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機界面
溫控類型	標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數據采集并導出實時溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號接頭	配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量	4探針（可定做6探針）
探針材質	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動平臺
X軸移動行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機分辨率	1080P 60幀
相機信號輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機