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鄭州科探儀器設備有限公司
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2路質量流量計500w等離子清洗機，在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面.以達到清洗目的
2路質量流量計500w等離子清洗機
等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質:處于高速運動狀態的電子;處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性
2路質量流量計500w等離子清洗機KT-Z5KQX
供電電源 | AC220V（AC110V可選) |
工作電流 | 整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 500W可調 |
射頻頻率 | 40kHz |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤30Pa |
腔體容積 | 5L(內徑 152mmX 深度 280mm) |
載物規格 | 125mmX260mm |
氣體流量 | 0—50ml/min（其他量程可選） |
氣體路數 | 2 路質量流量計+精密流量控制閥 |
過程控制 | 自動控制 |
清洗時間 | 手動開關 |
開蓋方式 | 鉸鏈側開式法蘭 |
真空室溫度 | 小于65°C |
外形尺寸 | 450x450x250mm |
冷卻方式 | 強制風冷 |
標配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本，機械泵一臺 |
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