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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第9年

18016281599

半導(dǎo)體烘烤設(shè)備
HMDS烘箱
環(huán)境檢測(cè)試驗(yàn)箱
烘箱、烤箱
超低溫試驗(yàn)箱
橡塑檢測(cè)儀器設(shè)備
低溫脆性試驗(yàn)儀
線纜檢測(cè)儀器設(shè)備
導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀
密度計(jì),電子密度測(cè)試儀
材料檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)
氮?dú)夤?/a>
黑蒜發(fā)酵設(shè)備
黑蒜機(jī),黑蒜箱

為什么HMDS烘箱處理后可以增粘

時(shí)間:2022/10/8閱讀:970
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HMDS烘箱也稱為智能型HMDS真空系統(tǒng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)等。半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面的氧化物的形式存在的二氧化硅以及大多數(shù)金屬在暴露于大氣中在一定的濕度下、足夠長(zhǎng)時(shí)間后在其表面形成極性O(shè)H鍵。這種襯底是親水性的,因此對(duì)光刻膠的非極性或低極性樹(shù)脂分子具有較差的親和力。為了使這樣的襯底表面具有疏水性,可以用化學(xué)方法將HMDS等非極性分子附著在其表面上,需要HMDS烘烤箱來(lái)處理。

 HMDS烘箱處理的優(yōu)勢(shì)HMDS是蒸發(fā)鍍膜,涂布厚度佳、均勻性好。旋涂式涂布厚度較厚,烘烤過(guò)程中有氨氣釋放,導(dǎo)致一些不利情況出現(xiàn)。



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