無(wú)塵室干燥箱，試驗(yàn)用百級(jí)烤箱概述

   百級(jí)潔凈烤箱也稱作無(wú)塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無(wú)塵室干燥箱，試驗(yàn)用百級(jí)烤箱特點(diǎn)

Ø 在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；

Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

Ø 采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；

Ø 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)

主要技術(shù)指標(biāo)

Ø 無(wú)塵等級(jí)：Class 100;     

Ø 溫度范圍：RT+10～200、300℃；

Ø 溫度均勻度：±2℃;    

Ø 溫度波動(dòng)度：±0.5℃；        

Ø 溫控精度：±0.1℃;

Ø 進(jìn)風(fēng)口：N2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;

Ø 排風(fēng)口：排風(fēng)管;     

Ø 電源：380v , 50Hz；

Ø保護(hù)裝置：超溫保護(hù)，漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器、門面安全開(kāi)關(guān)。   

Ø 網(wǎng)板：2-5層，不銹鋼加工圓孔托盤；

Ø 潔凈度：100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。

無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱

一．無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱概述
       無(wú)氧化烤箱在工作時(shí)，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧烤箱箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。智能無(wú)氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標(biāo)準(zhǔn)，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機(jī)進(jìn)行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺(tái)設(shè)備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進(jìn)行監(jiān)控和控制。
      智能制造主要指生產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)的生產(chǎn)過(guò)程管理、現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)控和控制等，包括智能工廠生產(chǎn)過(guò)程的數(shù)據(jù)采集及分析，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程、設(shè)備、資源監(jiān)控的可操作和可視化；要能支持采集不同現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備數(shù)據(jù)的要求，支持將生產(chǎn)數(shù)據(jù)及設(shè)備故障信息顯示在監(jiān)控站的屏幕上，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程的動(dòng)態(tài)監(jiān)控與管理；實(shí)現(xiàn)智能設(shè)備、機(jī)器人和生產(chǎn)線、用戶全流程互聯(lián)對(duì)話，實(shí)現(xiàn)人機(jī)、機(jī)機(jī)互聯(lián)下的高品質(zhì)、高效、柔性自動(dòng)化生產(chǎn)等。
二．無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱技術(shù)參數(shù)
1、主要技術(shù)指標(biāo)
Ø 含氧量：<100/50/20ppm;
Ø 溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200/450℃；
Ø 溫度均勻度：±1℃;
Ø 溫度波動(dòng)度：±0.5℃;（空載）
Ø 溫控精度：0.1℃;
Ø 烘箱擱板為活動(dòng)形式;
2、箱體結(jié)構(gòu)
Ø 外殼材料：優(yōu)質(zhì)冷軋板，表面磷化處理后平光漆
Ø 內(nèi)膽材料：優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼滿焊制作
Ø 隔  板：2-5層不銹鋼網(wǎng)版
Ø 保溫材料：厚度90毫米硅酸鋁保溫棉，保溫性能良好
Ø 溫控裝置：智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng)，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調(diào)節(jié)，并具有PID自整定，自動(dòng)恒溫等功能
Ø 超溫保護(hù):獨(dú)立配置超溫保護(hù)儀，超過(guò)溫度上限，自動(dòng)報(bào)警并主動(dòng)切斷加熱
Ø 固態(tài)輸出：SSR無(wú)觸點(diǎn)繼電器模塊，靈敏度高，壽命長(zhǎng)
Ø 測(cè)溫裝置：不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器，精確測(cè)溫，放心使用
Ø 定時(shí)裝置：高精度數(shù)顯自動(dòng)定時(shí)器，0-99.99小時(shí)恒溫時(shí)間設(shè)定，可預(yù)設(shè)烘烤時(shí)間
Ø 報(bào)警系統(tǒng)：APT/AD16型聲光報(bào)警系統(tǒng)，時(shí)間到聲光報(bào)警并自動(dòng)切斷加熱
Ø 電器元件：采用電器
Ø 安全裝置：漏電，短路，過(guò)載保護(hù)；鼓風(fēng)電機(jī)過(guò)載缺相保護(hù)
三．無(wú)氧烤箱，智能無(wú)氧烤箱運(yùn)行監(jiān)控分析技術(shù)
      智能無(wú)塵烤箱運(yùn)行監(jiān)控分析技術(shù)，通過(guò)物聯(lián)網(wǎng)向制造企業(yè)提供針對(duì)產(chǎn)品的遠(yuǎn)程智能服務(wù)，包括遠(yuǎn)程監(jiān)控、遠(yuǎn)程預(yù)警、遠(yuǎn)程維護(hù)、數(shù)據(jù)分析等。智能服務(wù)拓展到產(chǎn)品的全生命周期管理。產(chǎn)品智能化服務(wù)系統(tǒng)包括產(chǎn)品遠(yuǎn)程監(jiān)護(hù)與維護(hù)平臺(tái)、基于大數(shù)據(jù)挖掘的產(chǎn)品使用分析系統(tǒng)、智能APP自助服務(wù)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)功能包括以下幾類：
●  對(duì)各類產(chǎn)品的多種數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、存儲(chǔ)；
●  及時(shí)分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優(yōu)化解決方案及實(shí)時(shí)監(jiān)控產(chǎn)品使用情況的綜合服務(wù)；
● 產(chǎn)品智能化服務(wù)的成功應(yīng)用可以大大提高工作效率，服務(wù)維護(hù)成本顯著降低，產(chǎn)品差異化程度提升。