一、HMDS真空烤箱，光刻HMDS預處理烘箱技術參數：

電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2400W

控溫范圍：室溫+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：±0.5℃

達到真空度：133Pa

容積：90L

工作室尺寸（mm）：450*450*450（可選擇）

載物托架：2塊

時間單位：min

二、HMDS真空烤箱，光刻HMDS預處理烘箱特點：

1、 采用醫用級不銹鋼316L材質制造，內膽為不銹鋼316L；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。

2、 箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。

3、 微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。

4、 智能化觸摸屏控制系統配套進口PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。

5、 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。

6、 整個系統采用優質材料制造，無發塵材料，適用100 級光刻間凈化環境。