EMS 150膜厚監控儀

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號EMS 150

品牌

廠商性質經銷商

所在地北京市

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：楊陽查看聯系方式

更新時間：2015-06-26 02:13:10瀏覽次數：570次

聯系我時，請告知來自環保在線

產品分類 品牌分類

  樣本制備儀器

其他

干燥儀

鍍膜儀

全部產品列表

暫無信息

海德創業（北京）生物科技有限公司

經營模式：經銷商

商鋪產品：156條

所在地區：北京北京市

聯系人：楊陽（主管）

詢價 給他留言

產品簡介

EMS 150 膜厚監控儀(Film Thickness Monitor)和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發鍍膜儀配套使用，以便對膜厚進行監控。提供內置模塊和外接裝置。

詳細介紹

EMS 150 膜厚監控儀（Film Thickness Monitor）和噴金儀/離子濺射儀/噴碳儀/蒸發鍍膜儀配套使用，以便對膜厚進行監控。提供內置模塊和外接裝置。

石英是離子型的晶體，當發生拉伸或壓縮時能產生電極化現象，稱為壓電，這是因為其結晶點陣的有規則分布所致。石英晶體壓電效應的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當芯片上鍍了某種膜層后，芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會相應的衰減。膜厚監控儀就是通過測量頻率或與頻率有關的參量的變化而監控淀積薄膜的厚度。

膜厚監控儀（FTM）是如何工作的呢？鍍膜時，膜厚監控儀里面的晶振片的高速振動，測試每秒鐘振動次數的改變，從所接受的數據中計算膜層的厚度。

儀器參數：

儀器尺寸	300mm （W） x 150mm （D） x 75mm （H）
重量	6Kg
可配套儀器	EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975
晶片座	置晶片裝置
密度范圍	1.55 to 23.0g/cm^-3
測控范圍	5 to 999nm
鍍碳時精度	0.8nm
鍍金時精度	0.1nm
電源	230V 50 Hz （3 Amp Max）

訂購信息：

貨號	產品名稱	規格
91006	EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.	臺
91006-M	EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module	臺
91008	Spare Crystals	盒
91009	Spare Glass Cylinder	個