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HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備

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  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2021/8/18 8:56:56
  • 訪問次數(shù)2191
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來,公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評,更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測試儀,電線電纜檢測儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會,以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來!





HMDS烘箱,百級潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱,PI烤箱,真空無氧烘箱,無塵無氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺,超低溫試驗(yàn)箱
HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備 產(chǎn)品信息

HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備簡介:

HMDS鍍膜機(jī),黃光區(qū)鍍膜設(shè)備通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

的重要性:

在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

技術(shù)參數(shù):

1設(shè)備名稱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

2、設(shè)備型號

JS-HMDS90

3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)                                                          

3.1 工作室尺寸

 450×450×450(mm) 可選其他數(shù)據(jù)

3.2  材質(zhì)

 外箱采用304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-250℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度控制精度

 ±0.3%

3.6 真空度

 133pa(1torr)

3.7 潔凈度

 class 100,設(shè)備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環(huán)境

3.8電源及總功率

 AC 220V±10% / 50HZ       總功率約2.0KW    

3.9 控制儀表

 人機(jī)界面

3.10擱板層數(shù)

 2層

3.11 HMDS流量控制

 可控制HMDS流量

3.11真空泵

 油泵或干泵

3.12 保護(hù)裝置

 漏電保護(hù),過熱保護(hù)

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