智能型烤膠機(jī),自動(dòng)烤膠臺(tái)簡(jiǎn)介:
光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要構(gòu)成部門(mén)。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序,為增長(zhǎng)膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度。高精密程控烤膠機(jī)是一種設(shè)計(jì)為精確控溫、準(zhǔn)確計(jì)時(shí)和接近式加熱的高性能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)智能化編程烤膠控制。
烤膠機(jī)升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽(yáng)極氧化鋁面板。
適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復(fù)性好??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。
智能型烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù):
加熱尺寸:220*220mm,適用于?200毫米(8英寸)圓片或200x 200毫米方片以下尺寸產(chǎn)品;
溫度范圍:RT~300/400/500°C ;
溫度精度:0.1°C;
溫度均勻性:≤±1%℃;
電動(dòng)頂針調(diào)節(jié)高度: 0~30mm;
加熱臺(tái)表面:耐腐蝕硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成;
加熱臺(tái)頂蓋:優(yōu) 質(zhì)不銹鋼制成;
加熱臺(tái)外殼:優(yōu) 質(zhì)冷軋板噴塑;
控制器單元:7寸全彩觸摸屏,高級(jí)PLC控制,實(shí)現(xiàn)在時(shí)間內(nèi)自動(dòng)升降,可以定時(shí)取片;
電壓:220V / 50HZ;
功率:1000W;
輔助功能: 內(nèi)置真空泵, 自帶真空吸附功能和四組限位。
智能型烤膠機(jī),自動(dòng)烤膠臺(tái)特點(diǎn):
1、烘烤時(shí)間減少;
2、重復(fù)性高;
3、對(duì)薄膜的固化效果好;
4、烤膠機(jī)整個(gè)面板溫度均勻,對(duì)基片膜層固化效果非常好;
5、陽(yáng)極硬質(zhì)氧化鋁面板不粘面板;
6、帶頂升功能,可實(shí)現(xiàn)接近模式加熱烤膠;
7、程控準(zhǔn)確計(jì)時(shí),精確控溫,頂升高度可調(diào);
8、特殊的隔熱設(shè)計(jì)和長(zhǎng)壽命、高均勻性發(fā)熱部件;