廢氣處理設備

　　維護保養及注意事項

　　1.電源不正常

　　聯系供電部門是不是已對RTO系統供電;檢查相關電源開關及線路;注意保險絲是不是熔斷。

　　2.變頻器故障

　　①檢查PLC與變頻器及變頻器與顯示屏之間的通訊是不是正常，非常是通訊線是不是松動脫落。

　　②系統斷電后，因風機的電機過電壓愛護，變頻器可能會出現故障指示。再次通電啟動后，按變頻器復位鍵即可。

　　③如風機自動停車，可對動力柜斷電再通電重新啟動。

　　④正常停爐后，再次啟動RTO設備也可能出現這種情況，按變頻器復位鍵即可。

　　⑤如風機電機故障，則可能造成電機過電流，變頻器故障報警。

　　3.風機風壓低報警

　　①若變頻器正常，則檢查電機(是不是運轉，有無異響)、軸承及電路(電機有無正常上電)。

　　②若變頻器顯示故障信號，經復位后仍不可以恢復正常，則需專業技術人員檢查維修。

　　③察看風機轉動情況，如轉動未見異常，則更換壓差開關。

　　4.當故障提示“壓縮空氣壓力低”

　　①確認壓縮空氣主管道上手動閥有無開啟。

　　②確認供氣系統是不是正常。如是則檢查壓力開關參數設定是不是正確4bar或是不是損壞;如否則聯系檢查空壓機與干燥機是不是正常工作。

　　③檢查壓縮空氣管路有無泄漏。如正常，則檢查壓縮空氣管路有無泄漏。

　　5.氣動閥門動作異常

　　(1)如全部閥門均不動作，則可能的問題根源如下：

　　①檢查壓縮空氣壓力是不是在正常范圍4～6kgf/cm2，壓縮空氣主管道上手動閥有無開啟。

　　②PLC柜直流電源有無問題，保險絲是不是熔斷。

　　(2)如單個閥門動作異常，則可能的問題根源如下：

　　①檢查該閥門對應的壓縮空氣小管道上手動閥有無開啟。

　　②檢查該閥門對應的PLC柜中繼有無問題。

　　③檢查該閥門電磁閥是不是動作，首先檢查電磁閥線圈有無通電;其次檢查電磁閥內有雜物阻塞，通常解體清理后可繼續使用。如氣缸有問題，則需更換或由專業人員維修。

　　④察看現場閥位磁性開關定位器是不是到位，如閥門動作到位，磁性開關沒有亮燈指示，此時要調整磁性開關位置，直到讓其亮燈指示。

　　⑤還有一種可能是閥門密封面上沾有鐵屑等雜物，致使閥門無法全部關閉，壓縮空氣一直從二位四通閥排氣口沖出。平常這種情況通常會跟隨雜物脫落而自動消逝，否則應打開就近的檢查門，清除雜物。

　　案例：三室式RTO蓄熱式焚燒設備安裝在鄭州化工廠區

　　6.點火不成功

　　打開燃燒操縱柜，按燃燒操縱器復位鍵，重新點火。如重復多次，燃燒器仍不可以點火，則按下列途徑查找因素：

　　①察看燃燒操縱器各小燈的閉合，根據其提示，分析*因素。

　　②檢查電機是不是正常。連桿是不是松動。燃氣平衡閥是不是在適宜位置。

　　③檢查點火電磁閥是不是故障。

　　④檢查點火管路是不是開啟，壓力是不是正常(減壓閥后壓力1～2KPa左右)。

　　⑤主減壓閥前壓力及減壓閥后壓力是不是正常。若減壓閥后壓力不正常則調節減壓閥或更換減壓閥。

　　⑥擦拭點火器及火焰檢測器頭部后再試。

　　⑦檢查高壓點火器是不是打火。

　　⑧火焰檢測器是不是故障。

　　⑨檢查燃燒風機供風是不是正常。

　　⑩火檢冷卻風是不是過大，關小再試;火檢冷卻風是不是關閉，如關閉，可能造成火檢端部溫度超過65℃，火檢自動愛護動作造成點火失敗。若以上問題都不存在，但還不可以成功點火，則需專業人員對燃燒系統重新調整。

　　7.燃燒器驀地熄火

　　打開燃燒操縱柜，按燃燒操縱器復位鍵，重新啟動燃燒器。如重復多次，燃燒器仍不可以正常運動，則按下列途徑查找因素：

　　①主減壓閥前壓力及減壓閥后壓力是不是正常。若減壓閥后壓力不正常則調節減壓閥或更換減壓閥。

　　②檢查電機是不是正常。連桿是不是松動。燃氣平衡閥是不是在適宜位置。

　　③檢查助燃風機壓力開關是不是動作。

　　④檢查火檢有無問題。

　　⑤炎熱的天氣限制器有無動作。

　　⑥火檢冷卻風是不是過大，造成小火時熄滅，關小點火再試;火檢冷卻風是不是關閉，如關閉，可能造成火檢端部溫度超過65℃，火檢自動愛護動作造成點火失敗。若以上問題都不存在，但重新點火成功后再次出現熄火現象，則需專業人員對燃燒系統重新調整。

　　8.排氣超溫上限(設定溫度250℃)此時RTO報警并自動故障停車

　　可對比現場溫度表，首先推斷排氣熱電偶有無問題。如現場溫度表顯示未超溫則更換熱電偶，重新啟動RTO。如現場溫度表也顯示超溫，則按如下幾種情況分析因素：

　　①廢氣入口溫度是不是過高。RTO正常入口溫度為常溫。

　　②檢查RTO系統主切換蓋板閥有*。如閥門有故障，RTO蓄熱體無法正常蓄熱放熱，也會造成RTO出口超溫。

　　③檢查蓄熱體是不是完好，如蓄熱體阻塞、碎裂或塌陷則造成換熱效率減少，從而提高排煙溫度。

　　④檢查是不是全部生產線廢氣閥都關閉。如長時間關閉，進入RTO的廢氣量太小，會造成RTO出口超溫。

　　9. 氧化室溫度超高報警(設定溫度950℃)：此時RTO自動故障停車

　　①熱電偶有無問題。可根據兩支熱電偶及對比燃燒操縱柜顯示的溫度推斷，正常情況下，任意兩者的讀數誤差≤150℃。

　　②檢查燃燒系統比例閥動作是不是正常。

　　③廢氣濃度過高，應檢查生產工藝。

　　10.氧化室溫度變化異常

　　①檢查比例閥動作是不是正常。

　　②即使自控系統可穩定爐膛溫度，但廢氣量驀地變化過大，會使溫升速度變快或慢，所以要盡可能保持進口廢氣量相對穩定。

　　③熱電偶有無問題。

　　④操縱柜有無非常好接地，如無，則熱電偶可能信號干擾造成溫度顯示異常。
 

　　有機廢氣治理
 

　　半導體工藝中的有機廢氣具有排氣量大，濃度低和成分復雜的特點。 用其他有機廢氣處理技術很難達到令人滿意的處理效率。 吸附催化燃燒法更合適。 目前，一些大型的半導體公司已經采用了沸石流道的催化燃燒技術。

　　催化燃燒 沸石流道設備安裝在客戶的工廠區域

　　大容量，低濃度的揮發性有機廢氣（VOC）由高效過濾器過濾，進入沸石分子篩，被吸附并

　　電子控制系統控制催化氧化爐開始加熱，加熱后的高溫氣體由熱交換器冷卻 然后在混合空氣中調節至100-200℃，沸石流道緩慢旋轉（3?8r / h），吸附區的轉子旋轉至解吸區的高溫解吸，解吸后的高濃度有機廢氣 被熱交換器預熱并進入催化氧化 在熔爐中，其被氧化并分解為二氧化碳和水，凈化后的空氣通過煙囪排出。  。[H]

　　完成解吸的沸石流道旋轉到冷卻區進行冷卻，以完成吸附/解吸/冷卻的循環。

　　該方法適用于大風量，低濃度和常溫。 有機廢氣處理，有機廢氣處理效率達95％以上，運行成本低，設備風量大，占地面積小，無二次污染，可持續脫附和處理污染物