主要特點
BTF-1200C-IIIS-PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內溫度場的均勻分布。高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線的升、降溫要求調整輸出信號，同時系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求，關鍵電氣元件采用優質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。 本設備主要針對實驗和中試石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長。可制備出高質量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,傳感器等領域。
技術參數
Z高溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ25/?50/?60/?80/?100*2000mm(各管徑可選） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為10”工控電腦，內置PLC控制程序，可將溫控系統、滑軌爐滑動（時間和距離）設定為程序控制。 |
加熱長度 | 200+200+200mm（600mm） |
恒溫長度 | 400mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、PE射頻電源
信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 0W~500W |
Z大反射功率 | 100W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強制風冷 |
3、三路質子流量控制系統
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 50sccm，100sccm、500sccm（可根據用戶要求定制） |
準確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S |
響應時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
Z大壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數字顯示 |
工作環境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4、低真空機組
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
