概要
搭載冷卻檢測(cè)方式的質(zhì)量流量傳感器
特征
- 通過(guò)采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
- 可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。
- 可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
- 超潔凈類(lèi)型
規(guī)格
名稱(chēng) | 質(zhì)量流量計(jì) | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型號(hào) | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測(cè)控制范圍 | 5?99% F.S. | ||||
對(duì)象液體種類(lèi) *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度 *2 | 值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以?xún)?nèi) (T98) | 2秒以?xún)?nèi) (T98) | |||
使用環(huán)境溫度 *4 | 5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保) | ||||
溫度影響 Span | ±0.1%F.S./℃ 值±1% | ||||
工作差壓值值 *5 | 值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo 控制閥) | ||||
耐壓 | 10MPa (視為流量計(jì)) | ||||
壓力損失 | 值. 500Pa | ||||
流量設(shè)定信號(hào) | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出信號(hào) | 模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規(guī)格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質(zhì) | SUS316L, Ni | ||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類(lèi)型， 1/8” VCR 類(lèi)型 | 1/8” SWL類(lèi)型， 1/8” VCR 類(lèi)型 | 1/4” SWL類(lèi)型 1/4” VCR 類(lèi)型 | ||
名稱(chēng) | 質(zhì)量流量控制器 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型號(hào) | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測(cè)控制范圍 | 5?99% F.S. | ||||
對(duì)象液體種類(lèi) *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度 *2 | 值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以?xún)?nèi) (T98) | 2秒以?xún)?nèi) (T98) | |||
使用環(huán)境溫度 *4 | 5?50℃ (15 ? 45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ 值±1% | ||||
工作差壓值 *5 | 0.05?0.3MPa | ||||
耐壓 | 1MPa | ||||
壓力損失 | ー | ||||
流量設(shè)定信號(hào) | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出信號(hào) | 模擬：0?5 VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規(guī)格 | PO 類(lèi)型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類(lèi)型： 5×10-12Pa?m3/s (He) | ||||
接液部材質(zhì) | PO 類(lèi)型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 類(lèi)型： SUS316L，Ni | ||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類(lèi)型， 1/8” VCR 類(lèi)型 | 1/8” SWL類(lèi)型， 1/8” VCR 類(lèi)型 | 1/4” SWL類(lèi)型 1/4” VCR 類(lèi)型 | ||
*1： LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請(qǐng)預(yù)先所使用 的液體。)
?不能檢測(cè)含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)*行咨詢(xún)協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過(guò)濾器。
*2： LF-F類(lèi)型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 值， 0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)*行咨詢(xún)協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。
*4： 進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以?xún)?nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
產(chǎn)品相關(guān)圖及其它
備件
電源PE-D20
電源PE-D10
專(zhuān)用電源PE系列
