概要
EC-5000系列產品是由一套排氣壓力控制器所組成，此裝置可保證反應室的壓力值始終穩定在客戶要求的設定范圍。高分辨度的步進式馬達和蝶形閥設計確保了本產品的高速、高分辨度響應。
特征
- 適合高真空環境使用：不銹鋼質本體
- 抗腐蝕
- 使用PTFE（聚四氟乙烯）制作的本體也可以提供
- 適合對于腐蝕性氣體的使用
當排氣端流量被調整到的位置：
- 抗蝕劑是以一層均勻的薄膜方式分布的
- 阻止了噴霧的次級沉積
- 阻止了危險水蒸氣的擴散
此外，與流量傳感器控制方式相比較而言，因抗蝕劑和其他污染物堆積對本產品造成的影響更小
此產品屬于受日本法律管制的出口品（列于控制清單之上）。在從日本出口到海外或者供應給非日本企業前，必需從日本經濟產業省的相關部門獲得出口許可證件。
規格
Model EC- | 5104 | 5105 | 5202 | |||||||||||||||
Compatible size | NW40 | NW50 | 25 mm PTFE fitting | 1 inch PTFE fitting | ||||||||||||||
Materials at gas contact area | SUS316L, Fluoro rubber | PTFE, PEEK, Fluoro rubber | ||||||||||||||||
Conductance | 0.4 to 80L/s | 0.6 to 200L/s | —— | |||||||||||||||
Outflow at 100 mm H2O | 20L/min | 25L/min | 3L/min | |||||||||||||||
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產品相關圖及其它
