電子制造萬級潔凈室的相關技術指標如下:
1.電子廠萬級潔凈室噪聲等級(空態):不超過65dB(A),
2.電子制造商萬級潔凈室的溫度應控制在22%左右,相對濕度應控制在50%-60%之間殊潔凈室有相關的溫濕度規定)。
3.電子制造廠垂直流萬級潔凈室全分布比不小于60%,水平單向流潔凈室全分布比不小于40%,否則為局部單向流。
4.萬級潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區的靜壓差不應小于5Pa。
5.電子制造業萬級潔凈室的新風量應為以下兩項:補償室內排氣量和維持室內正壓值所需的新風量之和。
6.根據熱濕負荷計算,確定電子廠房萬級潔凈室送風量,確保潔凈室每人每小時新風量不小于40m。
7.電子制造業萬級潔凈室凈化空調系統的加熱器應配備新風和超溫斷電保護。如果使用點加濕,應提供無水保護。在寒冷地區,新風系統應采取防凍措施。
電子廠凈化車間的隔板,屋頂和墻壁選擇彩色鋼板,通常,厚度為50mm的夾心彩色鋼板更合適,不僅美觀而且堅固,在選擇地板材料時,一般的電子車間使用更多的是環氧樹脂或PVC地板,在選擇髙效供氣口時,一般在高純凈室中,可以選擇液罐供氣口,在沖孔網板上可以選擇鋁板,因此不易積塵,不易生銹,更干凈。
其次,應保證電子廠凈化車間的人員清潔工作,空氣淋浴間應安裝在潔凈室的入口,單人空氣淋浴間應由較多人數的30人建立,空氣淋浴間的進出不得同時進行,打開時,應選擇聯鎖控制措施,如果是潔凈室中設備和物料的出入口,則應獨立設置,還應設置貨物淋浴間,如果物料或產品的轉移需要在不同級別的潔凈室中進行,則應建立轉移窗口。
不同潔凈室之間的靜壓差和凈化參數,潔凈室不同層級之間的靜壓差應大于或等于5Pa,潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差也需要更大,凈化車間的換氣次數取決于潔凈室的水平,不同等級的潔凈車間的換氣次數不同,清潔度越高,每小時換氣越頻繁。
設計電子廠車間凈化工程應采取以下措施:
1.設計方案應具有良好的適應性(靈活性),這是實驗車間bi須考慮的問題(如單向流/非單向流的轉換、分區轉換等);
2.廠址選擇。建筑布局和工藝設置的合理性可以從根本上降低初始投資和運營成本;
3.正確確定生產設備的熱負荷與空調制冷設備的選擇直接相關;
4.室內通風次數與末級過濾器效率的結合(達到同級)需要經濟比較;
5.新風集中處理有利于地下水預冷、除塵、加濕的應用;
6.空調與凈化功能的分離有利于發揮各自的技術經濟合理性;
7.空調系統在工藝過程中的熱回收是一種直接受益的措施,因此應充分利用這部分熱量,以達到物盡其用的目的。
WOL 規劃建設 電子車間 無塵無菌 GMP 潔凈工程
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