產(chǎn)品描述:SJ系列玻璃基板搬運(yùn)機(jī)器人用于搬運(yùn)第5代到第8代平板顯示器用大型玻璃基板的機(jī)器人。通過采用屈伸型結(jié)構(gòu),發(fā)揮高潔凈性能,于需要控制顆粒的無塵車間內(nèi)的作業(yè)。
產(chǎn)品特點:應(yīng)用于第7代~第9代基板的系列產(chǎn)品: 適用于包括第7代的SJ80C,以及第8,9代的SJ120C,級別的旋轉(zhuǎn)速度和前后軸速度: 在所有尺寸中均縮短了周期,上下軸采用的連桿結(jié)構(gòu): 能夠抑制彎曲和振動的高剛度結(jié)構(gòu),無帶式結(jié)構(gòu),確保高可靠性和安全性,活動部分的布線全部內(nèi)置于手臂內(nèi): 防止發(fā)生微米級塵埃,并使外觀保持整潔。
產(chǎn)品參數(shù):
系列 | SJ80C | SSJ120CJ120C | ||||
機(jī)器人型號 | SJ80C-18D-01 | SJ80C-24D-01 | SJ120C-28D-01 | SJ120C-28S-01 | ||
清潔度 | 10級(0.3μm)*1 | 10級(0.3μm)*2 | ||||
自由度 | 4 | 4 | 3 | |||
驅(qū)動方式 | AC伺服方式 | |||||
最 | X1 | 前后1 | 3,670mm | 4,480mm | ||
X2 | 前后2 | 3,670mm | 4,480mm | |||
θ | 轉(zhuǎn)動 | (+145°~-195°) | (+195°~-145°) | |||
Z | 上 下 | 1,800mm | 2,400mm | 2,800mm | ||
最 | X1 | 前后1 | 3,000mm/sec | 3,600mm/sec | ||
X2 | 前后2 | 3,000mm/sec | 3,600mm/sec | - | ||
θ | 轉(zhuǎn)動 | 3.14rad/sec (180°/sec) | ||||
Z | 上 下 | 1,100mm/sec | 1,450mm/sec | 1,050mm/sec | ||
搬運(yùn)重量 | 每個臂80kg(合計135kg) | 90kg | 120kg | |||
位置反復(fù)精度 | ±0.3mm | |||||
周圍溫度 | 0~35°C | |||||
設(shè)置條件 | 落地式 | |||||
主機(jī)重量 | 1,175kg | 1,200kg | 1,880kg | 1,680kg |