KALEO MultiWAVE 多波長動態
【KALEO MultiWAVE 簡介】
在光學計量領域持續創新，推出能夠兼顧測量透射誤差和反射波前誤差（TWE / RWE）的革命性新產品：Kaleo MultiWAVE動態干涉儀。 直徑高至5.1英寸（130毫米）的鍍膜和未鍍膜的光學器件可在其工作波長下直接進行測量。 Kaleo MultiWAVE是購買多臺干涉儀或特殊波長干涉儀的有效替代方案，擁有性價比。 該系統同時可提供媲美Fizeau干涉儀測量精度，及動態干涉儀的抗震性能。
【關于Phasics】
是一家專注于高分辨率傳感技術的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業經驗與的波前測量技術為客戶提供全面的高性能。
一、 KALEO MultiWAVE 主要特點
紫外、可見光、近紅外、短波紅外、中遠紅外等任意多波長定制
單臺干涉儀可集成多個工作波長
納米級相位分辨率
超高動態范圍 (>500 條紋數)
二、KALEO MultiWAVE 應用
光學元件及光學系統計量
三、KALEO MultiWAVE 測量案例
四、KALEO MultiWAVE 指標參數(1)
| RMS重復性 (2) | < 0.7="" nm="">< λ=""> |
| 測量精度 | 80 nm PV (3) |
| 動態范圍（離焦值） | 500 fringes (SFE = 150 μm) |
| 可測反射率范圍 | 4% - 99% |
(1) 四英寸口徑，使用625 nm光源
(2) 在4英寸參考鏡上執行36次連續測量，每一次測量使用均化值為16次。 參考定義為所有奇數測量的平均值。 RMS重復性定義為RMS平均差值，加上偶數測量值與參考之間差值的標準偏差的2倍。
(3) 1 µm PV 離焦像差下
