益處
- 復合真空計 – 倒置磁控管與皮拉尼
- 測量范圍廣,從 5 x 10-9 毫巴到大氣壓
- 不會出現單絲燒毀的現象
- 的點火屬性
- 易于清潔
- FPM 或金屬密封饋入裝置
- 高壓 LED 指示燈
- 對數模擬輸出信號
典型應用
- 高真空壓力監控
- 蒸發系統和濺射系統的基本壓力
- 中高真空范圍內的一般真空測量和控制
規格
類型 | MPG400 FPM sealed | MPG401 metal-sealed | |
---|---|---|---|
測量范圍(空氣,N2) | 5 x 10-9 … 1000 | 5 x 10-9 … 1000 | |
精度 (N2) | |||
1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±30% | ≈±30% |
可重復性 | |||
1 x 10-8 … 100 毫巴 | % of reading | ≈±5% | ≈±5% |
安裝定位 | | any | any |
容許壓力 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) | ≤10 (limited to inert gases) |
容許溫度 | |||
運行(環境) | °C | +5 … +55 | +5 … +55 |
貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 |
烘烤 (1) | °C | 150 | 150 |
單絲溫度(皮拉尼) | °C | 120 | 120 |
電源電壓 | |||
真空計上 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
纜線最長的電源裝置 (2) | V (dc) | +16 … +30 | +16 … +30 |
波紋 | V (p-p) | ≤1 | ≤1 |
功耗 | W | ≤2 | ≤2 |
可連接的保險絲 | AT | ≤1 | ≤1 |
輸出信號(測量信號) | |||
電壓范圍 | V | 0 … +10.5 | 0 … +10.5 |
測量范圍 | V | +1.82 … +8.6 | +1.82 … +8.6 |
電壓與壓強 | | logarithmic, 0.6 volts per decade | logarithmic, 0.6 volts per decade |
錯誤信號 | |||
無電源 | V | <0.5 | <0.5 |
皮拉尼傳感器,單絲斷裂 | V | >9.5 | >9.5 |
輸出電阻 | ? | 2 x 10 | 2 x 10 |
最小負載電阻 | k? | 10, short-circuit proof | 10, short-circuit proof |
反應時間 | |||
p > 10-6 毫巴 | ms | <10 | <10 |
p = 10-8 毫巴 | ms | ≈1000 | ≈1000 |
識別真空計 | | 85, referenced to supply common | 85, referenced to supply common |
狀態 | |||
僅皮拉尼模式 | V |
MPG40x 大氣壓至超高真空真空計