益處
- 測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)
- 出色的可重復性,在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內為 5%
- 過壓檢測保護,防止燈絲燒毀
- 兩根長壽命氧化銥燈絲
- 發射電流選擇,降低控制的繁瑣
- 植入校準數據的傳感器元件可確保規管的高精準性,并且易于更換
- 符合RoHS
典型應用
- 半導體工藝和傳送腔室的壓強測量
- 工業鍍膜
- 從低真空到超高真空范圍的普通真空測量及控制
規格
類型 | BAG402 | |
---|---|---|
測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2) | 5×10-10 … 2.7×10-2 | |
精度 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | ±15 |
重復性 | ||
10-8 … 10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
除氣 (1) | ||
p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
壓強, | bar (absolute) | 2 |
溫度 | ||
操作 (環境) | °C | 0 … +50 |
儲存 | °C | -20 … +70 |
法蘭口的烘烤,不帶BPG402-S電子單元 | °C | 80 |
供電電壓 | +20 … +28 | |
輸出信號模擬 (4) | ||
輸出信號 | V | 0 … +10 |
測量范圍 log / lin | V | 0 … +9 |
電壓 vs. 壓強 | volts per decade | 1 |
錯誤信號 | V | > +10 |
負載阻抗, 最小 | k? | 10 |
第二模擬輸出 | none | |
設點繼電器 | ||
設定點數量 | none | |
范圍 | ||
繼電器觸點 | ||
滯后 | ||
觸點額定值 | ||
數字功能 | degas and emission | |
接口 (數字) (2) | Diagnosis port | |
發射控制 | manual | |
燈絲 | two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir) | |
燈絲狀態 / 繼電器 | LED / relay | |
電氣連接 | D-Sub, 9-pin, male | |
電纜長度,值 | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空中的材料 | Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
內部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
重量 KF / CF | g | 450 / 710 |
保護級別 | IP30 |
1)除氣期間準確性降低
2)不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現場總線
BAG402 中真空至超高真空真空計