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上海添時科學儀器有限公司
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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動開啟式PECVD系統。此套設備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機械泵組成。該設備模型可更新為不同類型的PECVD 系統，且設備性價比較為理想
產品特點：
•一射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;
•可通過爐體滑動達到快速升溫和降溫；
•可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應力;
•可通過工藝調節來控制化學計量；
•可沉積各種材料，如SiOx，SiNx，SiOxNy和(a-Si:H)等。
加熱爐參數：
•溫度：1100℃（<30min）：連續工作溫度：1000℃：
•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控瀝精度：±1℃；
•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW：
•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命
射頻電源：
真空系統：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統（可選）：
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
產品尺寸和重量：
•尺寸：1500mm L'600mm W^1200mm H
•·凈重：160 kg
•運輸重量：220 kg
質保：
一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
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