產品名稱：滑桿式PECVD系統
產品型號： PECVD-12DZHVK 單溫區滑桿式PECVD系統
      PECVD-12DZDHVK 雙溫區滑桿式PECVD系統
      PECVD-12DZTHVK 三溫區滑桿式PECVD系統
     

 



PECVD系統應用：

   PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).

   PECVD系統的中文名是等離子增強化學氣相沉積系統。是在CVD的基礎上加一個射頻電源，這個射頻電源通過感應線圈使管式爐爐管內氣體形成等離子體，等離子體化學活性很強，很容易發生反應，從而在基片上沉積出所期望的固態沉積物。PECVD具有比普通CVD沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高、沉積所需的溫度低等優點。PECVD是由CVD系統再加一個PE500射頻電源、線圈組成

PECVD系統組成：

PECVD系統=等離子電源+管式爐+真空抽氣系統+多路供氣系統（或者液態蒸發系統）

滑桿式CVD系統配置選擇：

配置一：滑桿式管式真空氣氛爐：

HSK2-12DZ 滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：50、60、80、100mm

HSK2-12DZD 雙溫區滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm

HSK2-12DZT 三溫區滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm

LVSE-0.1低真空控制系統
產品應用：

該系統為一組低真空機組設備，控制設備真空度小于1Pa一下；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設備使用

設備組成：設備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵組成

技術參數：

1、 真空泵：FX-16

2、 真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）

3、 真空泵極限壓強：（Pa）≤4*10^-2

4、 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥

5、 真空波紋管：KF25*1000mm

6、 真空計VRD-I:規管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規

7、 電源功率：220v/50Hz；0.8kw

8、 出氣進氣口規格：KF25

9、 連接口：2個KF25接口

產品應用：
   該系統為一組低真空恒壓機組設備，控制設備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設備使用

設備組成：設備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動調節閥門等組成；

技術參數：

1、 真空泵：FX-16

2、 真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）

3、 真空泵極限壓強：（Pa）≤4*10^-2

4、 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥

5、 真空波紋管：KF25*1000mm

6、 真空計：VRD-I:

7、 規管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規

8、 電源功率：220v/50Hz；0.8kw

9、 調速變頻器：0.75kw

10、      壓強控制范圍：1.0KPa—100KPa

11、      壓強控制精度：±1KPa

12、      出氣進氣口規格：KF25

13、      連接口：2個KF25接口

HVSE高真空控制系統:

產品應用：
   該系統為一組復合分子泵、前級抽氣泵機組設備，控制設備真空度小于8*10^-4Pa；配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設備使用；廣泛應用于表面分析、半導體設備、等離子體技術、電真空器件的制造及真空技術研究

設備組成：設備由復合分子泵、前級抽氣泵、隔斷放氣閥、前級管路、分子泵電源、高真空檢測系統（復合真空計）、控制電源組成

產品特點：

預抽氣旁路設計，前級抽氣不經過分子泵避免預抽氣體中顆粒進入分子泵

技術參數：

1、 前級真空泵：TRP-24

2、 真空泵抽氣速度：4L/s

3、 分子泵：FJ-620

4、 抽氣速率：600L/s

5、 分子泵極限壓強：6*10^-6Pa

6、 建議啟動壓強：＜100Pa

7、 排氣口法蘭：KF40

8、 進氣口法蘭：DN160LF

9、 波紋管：KF40*1000mm

10、      復合真空計：ZDF-III

11、      真空電磁擋板閥：KF40

12、      真空腔體真空度：＜8*10^-4Pa

13、      工作電壓：220v/50Hz

配置三：多路供氣系統：

ZDS-X多路質子流量計控制供氣系統

系統應用：
  ZDS-X多路質子流量計控制供氣系統是實現多種氣體不同流量混合配比的供氣系統

設備組成：多路進氣管路、質子流量計、混氣罐、出氣管路組成

產品特點：

1、 幾路進氣客戶自由定制，標準接口，方便連接

2、 液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量，實時查看各路氣體流量曲線

3、 每條氣路均設置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術參數：

1、 氣體通路：X條客戶自由定制

2、 氣體類型：客戶自由選擇

3、 流量計量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇

4、 工作電壓：220v/50Hz

5、 工作壓差：0.1-0.5MPa

6、 壓力：3MPa

7、 準確度：±1.0%F.S

8、 質子流量計相應時間：＜1S

9、 測量范圍：0.1-0.15MPa

10、      混氣罐：304不銹鋼

11、      進出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口

12、      管道：內部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管

13、      控制系統：PLC控制系統，液晶觸摸屏輸入，每路氣路獨立控制

FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統

系統應用：
   FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統是實現多種氣體不同流量混合配比的供氣系統

設備組成：多路進氣管路、浮子流量計、混氣罐、出氣管路組成

產品特點：

1、 幾路進氣客戶自由定制，標準接口，方便連接

2、 手動調節浮子流量計，方便快接

3、 每條氣路均設置高壓截止閥，方便切斷氣路

技術參數：

1、 氣體通路：X條客戶自由定制

2、 氣體類型：客戶自由選擇

3、 流量計量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由選擇

4、 壓力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格

5、 混氣罐：304不銹鋼

6、 進出氣接口：直徑6mm

7、 管道：內部管道采用直徑6mm不銹鋼管

---

配置四：等離子電源

1.型號：PE-500

2.噪音：<>

3.冷卻：風冷

4.反向功率：200W

5.電源：208-240VAC，50/60Hz

6.輸出功率：5-300W 可調穩定性±1%

7.射頻電源頻率：13.56MHz ±0.005%

8.射頻電源電子輸出端口：50Ω，N型半導體，陰極