低溫等離子凈化器一階段：廢氣激發，解離和激活。 當施加的電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被分解以產生電子，離子，原子和自由基的混合物，并且發生高能粒子與氣體分子（原子）之間的非彈性碰撞。 將發生一系列過程，例如喚醒，解離，電離等，以將能量轉化為在低溫下激活氣體的土壤狀態分子（原子）的內部能量。

二階段：活化廢氣的催化氧化和分解。 用高能量照射稀有金屬氧化物，并且活化的廢氣在金屬氧化物的表面上被氧化。 在產生水和二氧化碳時，廢氣中的氧與廢氣反應，并且廢氣被凈化。

低溫等離子凈化器采用低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的離子起決定性的作用。流星雨狀的離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。

低溫等離子廢氣凈化器的適用：

低溫等離子廢氣凈化器在居家、、工業領域均有應用，居家領域以單機類的家用空氣凈化器為市場的主流產品。主要的功能是去除空氣中的顆粒物，包括過敏原、室內的PM2.5等，同時還可以解決由于裝修或者其他原因導致的室內、地下空間、車內揮發性物空氣污染問題。由于相對封閉的空間中空氣污染物的釋放有性和不確定性的特點，因此使用空氣凈化器凈化室內空氣是*的室內空氣質量的方法之一。