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實時監測氣態分子污染物AMC

實時監測氣態分子污染物AMC

檢測需求

潔凈室需要控制污染物水平。準確、可靠和低維護成本的潔凈室氣態分子污染物AMC控制可以顯著的提升產能。

可靠的監測

高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產環境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質，可保證長期高穩定性。DKG ONE-CF4可與其他檢測儀器，如顆粒物監測儀等，整合在一個機柜里。

技術應用

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強光聲光譜探測技術，結合量子級聯激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結合提供了足夠的靈敏度可以無時延的探測最微小濃度的CF4噴濺或者溢出，同時保證了超高水平的穩定性。重新校準的周期長達幾個月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

優勢

1. 準確、可靠和低維護成本的潔凈室污染控制

2. 快速的響應時間，以捕捉濃度突然上升

3. 獨立運行系統，內置氣體交換泵

4. 無耗材或者化學試劑

5. 短光程，單點校準也可達到業內先的動態量程

6. 直接吸收測量，無漂移

7. 校準間隔長（可達數年）

8.高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

特點

1. 高選擇性的監測痕量水平的CF4

2. 檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

3. 響應時間可設置，從5秒到3分鐘

4. 動態范圍寬，運行穩定

5. 無耗材

6. 低樣品量（幾ml）

7. 內置氣體交換系統

8. 重新校準間隔長（幾個月）

9. 直觀的用戶界面

10. 內置顯示屏，可數字式或者圖線式顯示結果

11. 可通過局域網遠程操作

技術原理

1. 工作原理：紅外光聲光譜

2. 超靈敏zhuan利光學麥克風，基于微電機懸臂梁傳感器，結合激光干涉儀測量懸臂梁的微觀運動

3. 光源：分布式反饋量子級聯激光

4. 樣品池溫度穩定于50℃

環境

1. 運行條件

2. 溫度范圍：0℃～+49℃

3. 濕度：無凝露

4. 壓力：750mbar～1050 mbar

5. 防塵/水等級：IP20(IEC 529)

6. 儲存條件

7. 溫度范圍：-20℃～+60℃

8. 樣品氣體條件

9. 溫度范圍：0℃～+49°C

10. 濕度：無凝露，溫度達35°C時最大相對濕度80%，溫度達49°C時線性下降至35%

11. 壓力：750 mbar～1050 mbar

12. 氣流：約1L/min

13. 顆粒物<1μm

通用

1. 19”3U外殼，適用于臺式或者機架固定安裝

2. 尺寸：48.4 cm W x 13.9 cm H x 44 cm D；便攜式尺寸：51.85cmx40.5cmx23cm

3. 重量：約13 Kg（便攜式約15Kg）

4. 內置計算機，帶7”寬屏顯示器

5. 數據存儲：在最短采樣間隔連續監測的情況下，足夠存儲一年

6. 內部總氣路體積：30ml

7. 電源

8. 輸入電壓：90～264 VAC，47～63 Hz

9. 輸入功率：最大75W

10. 接口：以太接口，USB，可選RS485，RS232，電流輸出，電壓輸出，MODBUS和AK協議

11. DKG ONE-CF4可以通過智能手機，平板，電腦或者另一臺DKG ONE-CF4（即將推出)遠程控制

測量參數

1. 響應時間：取決于用戶可定義通道積分時間CIT以及氣體沖洗設定。根據平均時間和采樣設定從大約10秒到幾分鐘不等

2. 監測下限：小于0.1ppb

3. 動態量程：大于5個數量級（檢測下限的100,000倍)

4. 重復性：運行條件下，校準濃度重復性小于1%

5. 準確度：校準濃度高于5%，受限于校準氣體準確度

6. 溫度穩定性：在運行溫度范圍內的環境溫度變化不會導致漂移

7. 壓力穩定性：壓力范圍內的樣品壓力變化不會導致漂移

標準

1. 符合低電壓指令2014/35 / EU，EMC指令2004/108 / EC和ROHS 2指令2011/65 / EU

機箱選項

單氣體分析

DKG ONE-CF4為用戶提供簡潔直觀的用戶界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個旋轉按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預見泄漏區域的檢測。

移動式整合方案

幾個DKG ONE-CF4單元可以整合在同一個監測系統，移動式平臺可以快速的移動到不同的關鍵測點。