ZEISS 高分辨電子掃描顯微鏡-EVO 10,具備自動化工作流程的高清晰掃描電鏡
 

提高樣品的成像分辨率，提供更多表面細節信息

EVO 電鏡廣泛應用于材料和生命科學領域。

在低電壓下，借助電子束減速和高分辨背散射電子成像技術獲取出色的樣品形貌細節。您還可以在可變環境條件下實時觀察材料的相互作用，控制樣品
室環境并實現含水生物樣品的詳細分析。

借助自動化工作流程實現高效應用。EVO 的 X 射線幾何學設計能確保在分析工作條件下達到分辨率。 

高分辨電子掃描顯微鏡技術規格

設備主要部件及技術要求：

該項目的設備必須是全新設備且整體進口（包括所有零部件，元器件和附件等），滿足各自的技術指標和性能，其性能應達到*水平，可靠性好，性能穩定，控制精度高，使用、操作和維修方便，售后服務優良，必須在河南地區常駐有售后工程師以方便后期維護。

1、基本要求

1.1 電子光學系統

1.1.1 發射源：鎢燈絲；

1.1.2 分辨率：高真空二次電子像 ≤3.0nm @30kV≤8.0nm @3kV低真空背散射電子像 ≤4.0nm（30kV）；

1.1.3 加速電壓范圍：200V－30kV，10V 步進連續可調；

1.1.4 放大倍數范圍不小于：7X－1,000,000X，連續可調；

*1.1.5 探針電流范圍：0.5 pA~5μA，連續可調；

*1.1.6 電子束控制模式不少于以下幾種控制模式：分辨率模式、分析模式、大視野模式、大景深模式和魚眼模式；

*1.1.7 分析工作距離不大于 8.5mm 且分析工作距離下的大視野范圍不小于 6mm，普通模式下視野范圍不小于 20mm；

1.2 真空系統

1.2.1 抽真空系統：渦輪分子泵 + 機械泵，不需要冷卻水

1.2.2 樣品室真空度：優于優于 3 x 10-4 Pa

1.2.3 抽真空時間：≤3 分鐘

1.3 樣品室及樣品臺

1.3.1  樣品室內部尺寸不小于 310mm（直徑）×220mm（高）；3

*1.3.2 可放置的樣品尺寸和承重：樣品直徑不小于 230mm，高度不小于 100mm，臺承重不小于5kg；

1.3.3   配備探測器：高真空二次電子探測器，背散射電子探測器，樣品室紅外 CCD 攝像裝置

*1.3.4  配置五軸馬達驅動樣品臺：樣品臺馬達移動范圍：不小于 80mm（X 方向），100mm（Y 方向），35mm（Z 方向），-10°~ 90°（傾斜），360°（旋轉）

1.3.5  樣品臺類型：全電動 5 軸馬達驅動樣品臺，雙軸搖桿操作系統；

1.3.6  樣品臺具有接觸報警與自停功能;

*1.3.7  馬達臺重復精度不低于 2um；