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山東瀚文儀器儀表有限公司
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紫外臭氧清洗機HWUVO-3/HWUVO-6/HWUVO-9型儀器簡介紫外臭氧清洗機是一款用于無機基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機污染物去除的表面清洗設備
紫外臭氧清洗機 |
HWUVO-3/HWUVO-6/HWUVO-9型 |
儀器簡介
紫外臭氧清洗機是一款用于無機基材（比如：石英、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等）表面有機污染物去除的表面清洗設備。
低壓紫外汞燈能夠同時發射波長254nm和185nm的紫外光，在這兩種短波紫外光的照射下，活化有機物分子與活性氧原子發生氧化反應，生成揮發性氣體逸出樣品表面，從而清除粘附在樣品表面上的有機污染物。
應用領域
1、PCBA（印制電路板）生產中進行光清洗后，可以提高導線焊接時熔焊的接觸面積，增加連接強度，進而提高印制電路板的質量；
2、LCD、OLED生產中進行光清洗后，可以提高基體表面潤濕性，進而增強基體表面的粘合力；
3、集成電路領域，光清洗可以實現表面的原子清潔度，而且對芯片表面不會造成損傷；
4、可用于提高半導體粘合力、清洗彩色濾光片表面有機污染物、提高光學玻璃鍍 膜質量等場景；
5、對清除石蠟、松香、油脂、人體體油、殘余光刻膠、環氧樹脂、焊劑；以及帶有氧化膜的金屬表面處理，去除導電聚酰亞胺粘合劑上的有機污染物，光清洗都是十分有效的方法。
功能特點
1.1采用5寸彩色觸摸屏控制，可自主設定運行時間、加熱溫度、氣路流量等流程參數；
1.2加熱、升降一體式樣品臺，升降行程50mm, 便于樣品與UV燈間距的調整；
1.3樣品臺恒溫控制，智能PID溫度調節，設置范圍RT~200℃, 控溫精度±1℃；
1.4流量、加熱、UV燈分別自動單獨控制啟閉，處理過程中可手動中斷；
1.5組合式處理方式，可自由選擇：是否啟用樣品臺加熱功能、打開供氧氣路；
1.6自動儲存清洗參數設置，并生成歷史記錄，避免實驗數據遺忘；
1.7安全可靠，設備運行過程中，清洗倉倉蓋打開時自動關閉UV燈，并彈窗提示，避免紫外線傷害；
1.8標配流量數字化顯示(可接入氧氣或臭氧),可調節氣路供氣流量；
1.9上置式樣品臺及上翻式開蓋設計，取放樣品方便，操作簡單快捷；
1.10波長254nm和185nm雙波UV燈源，燈管壽命約為8000小時，配備UV反光罩使樣品照射均勻化；
1.11一鍵化操作，減少工作強度。
技術參數
儀器型號 | UVO-3 | UVO-6 | UVO-9 | |
外觀圖片 |
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柵格燈尺寸/mm | 220*270 | 130*130 | 230*230 | |
樣品臺尺寸/mm | 220*270 | 150*150 | 220*270 | |
樣品臺升降行程/mm | 50 | 50 | 50 | |
加熱溫度范圍/℃ | 室溫-200℃ | |||
流量范圍(ml/min) | 選配 | 0-1000 | 0-1000 | |
外形尺寸(L*W*H)/mm | 450*390*270 | 445*300*245 | 500*360*250 | |
主機重量/kg | 10 | 11.5 | 15 | |
UV光波長 | 185nm、254nm | |||
UV燈管 | 雙波長燈管 | 一體式低壓汞蒸氣柵格燈 | ||
燈管壽命 | 約5000小時 | 約8000小時 | ||
機身材質 | 304不銹鋼、塑料 | 304不銹鋼和氧化鋁 | ||
安全防護功能 | -- | 倉蓋打開時，燈管自動熄滅 | ||
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