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行業(yè)產(chǎn)品

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天津中環(huán)電爐股份有限公司


當(dāng)前位置：天津中環(huán)電爐股份有限公司>>>>1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

1200℃預(yù)加熱滑動雙溫區(qū)/多溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：黃女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2021-11-02 15:55:20瀏覽次數(shù)：285次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：67條

所在地區(qū)：天津天津市

聯(lián)系人：黃女士 （網(wǎng)絡(luò)推廣）

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品應(yīng)用：PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

詳細(xì)介紹

   

 

產(chǎn)品應(yīng)用：

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品組成：

PECVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.滑動系統(tǒng)分為手動、電動滑動，并配置管內(nèi)測溫系統(tǒng)。

3.預(yù)加熱開啟式管式電爐

4.等離子射頻電源

5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

6.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）  

產(chǎn)品特點(diǎn)：

生長溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡單。

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