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2101C型離子減薄儀

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更新時間：2022-01-07 13:57:24瀏覽次數(shù)：199次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述：我公司生產(chǎn)經(jīng)銷的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡（TEM）研制的樣品制備設(shè)備

詳細介紹

產(chǎn)品描述：
我公司生產(chǎn)經(jīng)銷的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡（TEM）研制的樣品制備設(shè)備。 適用于金屬、陶瓷及半導(dǎo)體等固體材料的TEM樣品的減薄與拋光。 其由小角度樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)（Small incidence angle specimen rotation system, SIASRS）（）、 高真空系統(tǒng)（High vacuum system, HVS），高壓電源系統(tǒng)（High voltage power system, HVS）、 氣動快速換樣系統(tǒng)(Pneumatic rapid specimen exchanger)（）以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。
離子減薄儀是TEM（透射電鏡）實驗中制樣的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備使氬氣在高壓電場的作用下電離，產(chǎn)生高能離子束， 并通過高壓電場加速，使氬離子加速并聚焦成小于1mm直徑的離子束，經(jīng)過聚焦的離子束對樣品表面進行鏟磨拋光， 使樣品的厚度逐漸減小，從而達到均勻減薄樣品的目的。

 

產(chǎn)品特點：
1.樣品臺旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，對離子束無遮擋。
2.離子束掠射角小，樣品薄區(qū)大。
3.系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，樣品減薄速度高。
4.樣品臺導(dǎo)熱性能好。

 

主要技術(shù)指標(biāo)：
1.電源:1.2kW AC 220V – 240V 50Hz
2.氣源:>0.1 MPa 氬氣（Ar）
3.高壓電源:0 – 20kV （連續(xù)可調(diào)，短路保護）
4.離子束電流:0 – 2mA
5.離子束掠射角:0 –90°（雙面）
6.自動保護：高壓電源系統(tǒng)，樣品旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。
7.抽真空速率:分子加速泵 67L/min，前置泵組 150L/min
8.樣品尺寸:3mm 直徑
9.樣品減薄速率:40μm/h(Cu)

 

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