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河南順博熱處理設備有限公司


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CVD浮子混氣系統

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產品型號S-1700S-CVD

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更新時間：2023-03-16 12:30:02瀏覽次數：288次

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產品簡介

CVD浮子混氣系統適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用

詳細介紹

功能特點：
1、高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成，真空可達0.0001Pa；
2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現負壓的精準控制；
3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統的安全性和連續均勻性。
4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界Swagelok卡套連接，不漏氣；
5、超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用安全可靠。
產品用途：
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復合薄膜等，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用
產品參數

  • 電壓：AC220V 50/60Hz
  • 功率：6KW
  • 爐管：采用99氧化鋁剛玉管，致密度高，經久耐用，不易斷裂
  • 爐管尺寸：Φ40/60/80*/1000mm(可定制)
  • 爐管配件：4個氧化鋁管堵
  • 加熱元件：6根U型硅鉬棒
  • 加熱區長度：400mm(可定制)
  • 恒溫區長度：200mm(可定制)
  • 工作溫度：≤1600℃
  • 溫度：1650℃
  • 升溫速率：≤10℃/min
  • 溫控系統：溫度控制采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能、50段升降溫程序
  • 測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶
  • 恒溫精度：±1℃
  • 流量規格：0.3~3L/min
  • 控制精度：±5%
  • 極限真空：6.0×10-5Pa
  • 工作真空：7.6×10-4Pa
  • 測溫元件：B型雙鉑銠熱電偶
  • 尺寸：高溫爐：660*580*910mm、混氣移動工作臺：800*540*720mm
  • 可選配件：HQZ混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉坩堝，剛玉管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀，冷卻水循環機等。


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