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滑式真空爐CVD系統(tǒng)

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產品型號S-1200HZ-CVD

品       牌

廠商性質其他

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更新時間：2022-02-12 10:03:13瀏覽次數：449次

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產品簡介

滑式真空爐CVD系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫

詳細介紹

功能特點：
本套系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。
產品用途：
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備
產品參數

  • 爐體結構：雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫；真空吸附成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
  • 電源電壓：AC220V 50/60Hz；
  • 功率：4KW
  • 爐管材質：高純石英管，高溫下化學穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小
  • 爐管尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
  • 加熱系統(tǒng)：加熱元件采用優(yōu)質合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經久耐用
  • 加熱區(qū)長度：440mm(可定制)
  • 恒溫區(qū)長度：200mm(可定制)
  • 工作溫度：≤1150℃(可定制)
  • 溫度：1200℃(可定制)
  • 升溫速率：10℃/min
  • 溫控系統(tǒng)：溫度控制采用人工智能調節(jié)技術，具有PID調節(jié)、自整定功能30段升降溫程序
  • 測溫元件：N型熱電偶
  • 恒溫精度：±1℃
  • 混氣系統(tǒng)：三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制
  • 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥
  • 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套
  • 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥
  • 通過控制面板上的旋鈕來調節(jié)氣體流量
  • 流量規(guī)格：0~1SLM
  • 流量精度：±1.5%
  • 極限真空：6.0×10-5Pa
  • 工作真空：7.6×10-4Pa
  • 標準配件：數顯式真空壓力表；可選高真空系統(tǒng)及真空計，壓力控制系統(tǒng)等
  • 可選配件：混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。


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