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雙溫區CVD實驗室設備

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產品型號S-1400PC

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更新時間:2022-02-12 10:15:53瀏覽次數:321次

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產品簡介

雙溫區PECVD實驗室設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成,溫度可以達到1400度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計

詳細介紹

產品結構:
1400度雙溫區cvd實驗室設備由滑動式快速退火管式爐+真空系統+供氣系統組成 ,溫度可以達到1400度,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計,可以對多種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。
滑動式快速退火管式爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/m。為取得加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
軟件控制系統:該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。
產品用途:
1400度雙溫區cvd實驗室設備是一種特殊的高真空CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。
產品參數:

  • 產品型號:S-1400PC
  • 氣路控制:浮子流量計/質量流量計
  • 真空系統:旋片泵/擴散泵/分子泵
  • 可選配件:水冷機/數顯真空計
  • 溫度:1400℃(可定制)
  • 工作溫度:≤1300℃(可定制)
  • 加熱元件:優質硅碳棒
  • 溫控方式:智能化30段PID微電腦可編程控制
  • 溫控保護:具有超溫及斷偶報警功能
  • 熱電偶:S型
  • 爐膛材質:高純氧化鋁多晶纖維
  • 加熱速率:0-20℃/分
  • 恒溫精度:±1℃
  • 均勻性:±5℃
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 爐殼結構:雙層殼體帶風冷系統
  • 額定功率:5Kw
  • 供電電源:110-480V 50/60Hz
  • 售后服務:12個月質保,終身保修(易損件除外)


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