設(shè)備特點(diǎn)
此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器,輔助二維材料蒸發(fā),后端為雙溫區(qū)管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)和真空系統(tǒng),可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力和氣體流量,對(duì)于做低壓CVD實(shí)驗(yàn)非常實(shí)用,重復(fù)性好。
硫粉預(yù)熱器 | 工作溫度:400℃ Z高溫度:1200℃ Z快升溫速率:≤30℃/min 推薦升溫速率:10℃/min 控溫方式:智能化30段可編程控制 工作電壓:AC220V 額定功率:800W 控溫精度:±1℃ 加熱元件:電阻絲 |
加熱區(qū)參數(shù)
| 額定功率:5kw Z高溫度:1200℃ 工作溫度:1100℃ Z大升降溫速率:≤30℃/min 爐管尺寸:高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm (管徑可選) 加熱區(qū)長度:200+200mm 恒溫區(qū)長度:290mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管1支,莫來石管堵2對(duì),不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支; 尺寸:約 550×380×600 mm(爐子) 約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌) 可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。 |
氣路系統(tǒng)參數(shù)
| 質(zhì)量流量計(jì)參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選) 準(zhǔn)確度:±1.5% 線性:±0.5~1.5% 重復(fù)精度:±0.2% 響應(yīng)時(shí)間:氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa Z大壓力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 顯示:4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。 可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。 |
低真空系統(tǒng)參數(shù)
| 國產(chǎn)油泵型號(hào):BSV-10 抽速:10m3/h 極限真空度:5*10-1pa 電源:220v 50hz 電機(jī)功率:0.4kw 進(jìn)排氣連接口:KF25 用油量:1.1L 電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440rpm 工作環(huán)境溫度:5-40℃ 噪音:≤56db 電阻真空計(jì)參數(shù): 1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī), 2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa, 3.測量路數(shù): 1路 4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載, 6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 7.功耗: 20W |
使用注意事項(xiàng)
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