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當(dāng)前位置:重慶開衡科技有限公司>>cvd系統(tǒng)>> 二維材料設(shè)備CVD系統(tǒng)(型號(hào):BTF-1200C-II-SL-CVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

二維材料設(shè)備CVD系統(tǒng)(型號(hào):BTF-1200C-II-SL-CVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧發(fā)生機(jī)

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更新時(shí)間:2023-06-11 09:13:45瀏覽次數(shù):851次

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設(shè)備特點(diǎn)此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器,輔助二維材料蒸發(fā),后端為雙溫區(qū)管式爐,溫度控制精確,操作簡便

設(shè)備特點(diǎn)

此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器,輔助二維材料蒸發(fā),后端為溫區(qū)管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)和真空系統(tǒng),可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力和氣體流量,對(duì)于做低壓CVD實(shí)驗(yàn)非常實(shí)用,重復(fù)性好。

硫粉預(yù)熱器

工作溫度:400℃

Z高溫度:1200℃

Z快升溫速率:≤30℃/min

推薦升溫速率:10℃/min

控溫方式:智能化30段可編程控制

工作電壓:AC220V

額定功率:800W

控溫精度:±1℃

加熱元件:電阻絲

加熱區(qū)參數(shù)

額定功率:5kw

Z高溫度:1200℃

工作溫度:1100℃

Z大升降溫速率:≤30℃/min

爐管尺寸:高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm (管徑可選)

加熱區(qū)長度:200+200mm

恒溫區(qū)長度:290mm

控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管1支,莫來石管堵2對(duì),不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

尺寸:約 550×380×600 mm(爐子)

約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌)

可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

質(zhì)量流量計(jì)參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

準(zhǔn)確度:±1.5%

線性:±0.51.5%

重復(fù)精度:±0.2%

響應(yīng)時(shí)間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍:0.10.5 MPa

Z大壓力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

顯示:4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止閥:Φ6

連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

低真空系統(tǒng)參數(shù)

國產(chǎn)油泵型號(hào):BSV-10

抽速:10m3/h

極限真空度:5*10-1pa

電源:220v 50hz

電機(jī)功率:0.4kw

進(jìn)排氣連接口:KF25

用油量:1.1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440rpm

工作環(huán)境溫度:5-40℃

噪音:≤56db

電阻真空計(jì)參數(shù):

1.配用規(guī)管:ZJ-52T電阻規(guī),

2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

3.測量路數(shù): 1路

4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載,

6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

使用注意事項(xiàng)

  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的 氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。

  • 石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。

  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。


連續(xù)進(jìn)出料可回轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng) BTF-1200C-II-R-CVD 實(shí)驗(yàn)

1、主要特點(diǎn)該設(shè)備爐管可360°旋轉(zhuǎn),有助于粉料的燒結(jié)更均勻,可大角度

滑軌式CVD系統(tǒng)(型號(hào):BTF-1200C-SL-CVD) 實(shí)驗(yàn)室臭氧

設(shè)備特點(diǎn)此款設(shè)備是專為生長石墨烯研制的石墨烯薄膜生長專用爐,也同樣適用

國產(chǎn)高真空CVD系統(tǒng)(型號(hào):BTF-1200C-II-CVD) 實(shí)驗(yàn)室

設(shè)備特點(diǎn)此套設(shè)備是由1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)及低真

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