1、概述
向水中投加臭氧，工藝氣體的起始濃度在4.17×10^-4mol/L（20g/m³）數量級。假設一般接觸裝置的實際效率90%，尾氣中臭氧濃度可能達到4.17×10^-5mol/L（2g/m³）。在重復噴射或預臭氧化中，尾氣中的最終損耗能達到4.17×10^-6~1.04×10^-5mol/L（0.2~0.5g/m³）的程度。
臭氧的閾限值（TLV）為4.46×10^-9mol/L，或大約0.2mg/m³，而當停留時間短于30min時，可允許1.25×10—8mol／L(0.6mg／m3)的濃度。臭氧的毒性特別是環境濃度高于TLV或容許濃度值(MAC)的毒性另有文獻評論。
有關操作區和設備的安全預防措施也必須加以考慮，這些措施包括工作室的適當通風，與接觸池水力連接嚴實，接觸池的和管路泄漏；并要采取適當措施將尾氣中的臭氧分解。
2、臭氧尾氣處理方法
(1)預臭氧化；
(2)尾氣循環利用；
(3)稀釋后排放；
(4)淋洗和(或)化學捕獲；
(5)熱分解；
(6)在可燃載體上吸附和反應；
(7)催化分解；
(8)兼有分解和(或)隨后分解的吸收。
 
事實上，當前，吸附式、熱分解是采用泛的方法。


熱分解法
熱分解法是當前用于消除臭氧處理廠尾氣所含臭氧使用泛的技術。可采用的主要工藝有三種：
(1)單通道電阻加熱；
(2)通過熱交換器加熱；
(3)加熱并過熱燃燒。