VTC-16-D 小型三靶等離子濺射儀

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更新時間：2022-11-09 16:10:24瀏覽次數：220次

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深圳市科晶智達科技有限公司

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產品簡介

VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭尺寸為2英寸，并且樣品臺的高度可以調節

詳細介紹

VTC-16-D是一款小型直流磁控等離子濺射鍍膜儀，其靶頭尺寸為2英寸，并且樣品臺的高度可以調節。此款鍍膜儀設計主要是制作一些金屬薄膜。

性能指標和基本配置
特點	● 特別為SEM樣品鍍導電性薄膜設計 ● 體積小巧，操作簡單，容易上手。 ● 擁有小型磁控靶頭，可以鍍金銀鉑等金屬。
主要參數	● 輸入電源：220V AC 50/60Hz ● 功率：200W ● 輸出電壓：500 VDC ● 濺射電流：0-50 mA可調 ● 濺射時間：0-120S可調
濺射腔體	● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H ● 密封：采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈
濺射頭&樣品臺	● 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸，厚度0.1 - 2.5mm ● 濺射時間1-120S可調 ● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺，其與濺射頭之間距離可調。 ● 可選購加熱型樣品臺，其加熱溫度為500℃ ● 安裝有一可手動操作的濺射擋板，可進行預濺射。
真空系統	● 安裝有KF25真空接口 ● 數字真空壓力表（Pa） ● 此系統可通入氣體運行 ● < 1.0E-2 Torr （采用機械泵）（僅供參考，詳情請點擊） ● < 1.0E-5 Torr（采用渦旋分子泵）（僅供參考，詳情請點擊） ● 可在本公司選購各種真空泵
進氣	● 設備上配1/4英寸進氣口，方便連接氣瓶 ● 設備前面板上裝有一氣流調節旋鈕，方便調節氣流
靶材	● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度) ● 此設備標配為銅靶 ● 可在本公司選購各種靶材
各種靶材的參數（僅供參考）	對于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數，下表是本公司實驗所設置的參數，歡迎您帶料來科晶實驗室摸索工藝（僅供參考，詳情請點擊）
	靶材種類	真空度（Pa）	濺射電流（mA）	時間（s）	濺射次數
	Au	31-33	28-30	100	1
	Ag	31	28	100	1
薄膜測厚儀（可選）	可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
產品尺寸	L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
凈重	20 kg（不包括泵）
使用注意事項	● 有時為了達到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜 ● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈 ● 要達到薄膜與基底良好結合，請在濺射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗（詳細參數點擊下面圖片）：（1）丙酮超聲，（2）異丙醇超聲-去除油脂，（3）吹氮氣干燥，（4）真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗（詳細參數點擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學鍵，可祛除額外的污染物。 ● 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應用于改善金屬和合金的附著力。 ● 請使用>5N純度氬氣等離子體濺射 ● 濺射鍍膜機可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射 ● 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發鍍膜機。點擊下面圖片查看細節超聲波清洗機等離子清洗機大功率磁控濺射儀蒸鍍儀
警告	● 注意：產品內部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動機體。 ● 氣瓶上應安裝減壓閥（不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶頭。
認證	CE認證
保修期	一年保修，終身技術支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內點擊查看售后服務承諾書。