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大族激光科技產業集團股份有限公司
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清洗作用：特點技術參數名稱（Name）真空等離子清洗機型號（Model）VAC-P110LPlasma控制系統（Controlsystem）PLC+觸摸屏電源（Powersupply）380V/AC,50Hz,3KW射頻電源功率（RFPower）600W/13
清洗作用：
| 名稱（Name） | 真空等離子清洗機 |
| 型號（Model） | VAC-P110L Plasma |
| 控制系統（Control system） | PLC+觸摸屏 |
| 電源（Power supply） | 380V/AC,50Hz,3KW |
| 射頻電源功率（RF Power） | 600W/13.56MHZ |
| 容量（Volume） | 110L(Option) |
| 層數（Electrode of plies） | 8 |
| 氣體通道（Gsa） | 兩路工作氣體可選：Ar、N2、H2、CF4、O2 |
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