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愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX1000N 干式泵

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更新時間：2023-05-23 07:47:13瀏覽次數(shù)：396次

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產(chǎn)品簡介

iGX干泵真空系統(tǒng)愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX1000N干式泵iGX干式真空泵系列為大修之間零維護現(xiàn)代干泵樹立了新標(biāo)準(zhǔn)；這使其成為了世界上Z受歡迎的干泵之一，目前已在大多數(shù)的300mm工廠中安裝了20,000套以上

詳細(xì)介紹

  • iGX 干泵真空系統(tǒng)  愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX1000N 干式泵 

    iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護現(xiàn)代干泵樹立了新標(biāo)準(zhǔn)；這 使其成為了世界上Z受歡迎的干泵之一，目前已在大多數(shù) 的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網(wǎng)連接，允許通過網(wǎng)頁查看 主要數(shù)據(jù)，同時包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項， 可確保泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。 

    iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔 到中等負(fù)載制程。模塊化設(shè)計允許用戶對 iGX 干泵 進行配置以適合各個工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項，包括工具上、近程和遠程操作。 

    通過使用 iGX 干泵技術(shù)， 整個工廠通常可以在設(shè)施成本方面實現(xiàn) 40%* 的節(jié)省 （與 iL/iH 干泵相比）。   

    *基 于包含 200 個工具、537 臺泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。


    Standard_Body_Image_iGX_Pumps 

  • 應(yīng)用
    主要特性和優(yōu)勢

    • 低功耗和零預(yù)防性維護，可降低擁有成本

    • 小巧輕便，可使用靈活的 安裝選項

    • 高性能電機和變頻器驅(qū)動裝置

    • 待機模式使用環(huán)保模式，功耗 更低

    • 高導(dǎo)熱性材料和 優(yōu)良設(shè)計可實現(xiàn)低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣？

    • 精密陶瓷軸承 可確保高負(fù)載容量，因而更加可靠

    • 低振動和小于 55 dB(A) 的低噪聲，可以安裝在操作中同附近

    • PVD

    • 電介質(zhì)刻蝕

    • 導(dǎo)體刻蝕

    • 金屬刻蝕

    • 植入源

概述

iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標(biāo)準(zhǔn)。效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。
  
iGX 干泵包括以太網(wǎng)連接功能，允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù)，另外還包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項，可確保泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
  
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載的各種工藝。模塊化設(shè)計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖

  • 輸送

  • 計量

  • 平版印刷

  • PVD 制程

  • PVD 預(yù)清潔

  • RTA

  • 剝離/灰化

  • 氧化物腐蝕

  • 硅腐蝕

  • 金屬腐蝕

a - iGX1000N 干式泵 200-230V 50/60 Hz

iGX1000N 干式泵 200-230V 50/60 Hz

A
a - iGX1000N 干式泵 380-460V 50/60 Hz

iGX1000N 干式泵 380-460V 50/60 Hz

A

功能和優(yōu)勢

  • 低運行成本
    • 與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本Z多可降低 50%
    • 無需預(yù)防性維護
  • 靈活的安裝選項
    • 小巧輕便，便于安裝
    • 工具上、近程或遠程
  • 可以改進工具吞吐量
    • 可用的Z快的負(fù)載鎖定泵之一
  • 全程一致的泵送性能
    • 在 50 和 60 Hz 下抽速相同
  • 降低了環(huán)境噪音
    • 僅 55 dB(A)
  • 峰值速度范圍寬
    • 100、300、600 和 800 m3h-1

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度800 m3h-1

471 cfm

13333 l min-1
極限壓力1.00E-03 mbar

7.50E-04 Torr

0.10 Pa
700 Torr 排氣壓力下的極限
極限1.6 kW
AUC（有源設(shè)備控制器）1.05 kW
水入口*2 slm
氮4 或 14 slm
占地面積（不包括排氣裝置）0.20 m2
重量230 kg
進氣口連接ISO100
出口連接NW25
極限噪音< 55 dB(A)

  
* 需要恒流閥附件。


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