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深圳市天鉉真空技術有限公司
1179A00412CR1BV流量計氣體流量控制器MKS深圳市天鉉真空技術有限公司1179A流量比例控制器(通用型)1179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合
1179A
流量比例控制器(通用型)
1179A是一種通用型彈性密封的質量流量控制器,可在多種應用場合測量和控制氣體的流量,特別是可重復性要求高的場合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。對于當今市場上的質量流量控制器,1179A可作為直接替代的產品,標準的3英寸底座使1179能夠直接進行安裝而無需改變現有的氣體管道。它具有數字和模擬兩種模式,其為全量程的1%。技術參數:全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。控制量程:2% to 99%的全量程。測量:全量程的1%靈敏度:全量程的0.1%熱機時間:小于2Min.響應速度:小于2Sec.輸入電壓:±15VDC@100ma輸出電壓:0-5VDC連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge. 數字:RS485或Device net或Profibus法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4"等材質:316不銹鋼。質保期:有限保修自售出之日起12個月
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