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上海洛豐精密檢測儀器有限公司
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菲索型激光干涉儀，具有環形光源偽跡消除抑制技術，是一種高精度、共光路面形計量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業標準GPI激光干涉儀系列的大部分優點，融合了機械相移技術、革命性的數據采集技術、高性能的光電成像系統、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等。 Zygo推出用于在震動環境下測量的DynaFiz干涉儀。
系統:
◆測量功能：精密測量各種反射面和光學系統的表面面形、精密測量光學系統的傳輸波前
◆測量技術：機械相移干涉測量（PSI）
◆校準系統 ：快速條紋采樣系統(QFAS) (雙光點定位于十字線)
◆測量光束直徑 ：4″（102mm）或6″（152mm）
◆對準視場范圍FOV ：4″：±3°；6″：±2°；
◆光學中心線 ：4.25″（108mm）
◆激光光源：大功率穩頻氦-氖激光，III
◆波長： 633 nm
◆頻率穩定度： < 0.0001 nm
◆相干長度 ：＞100m
◆成像分辨率 ：1000 x 1000 像素
◆幀速 ：43Hz
◆數據采集時間 ：302ms
◆數據模式： 8位
◆放大 ：電控數顯放大1-5X
◆偏振 ：接近圓偏振（1.2：1或者更好）
◆光曈調焦范圍： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；
◆計算機和軟件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9
◆安裝構造 ：水平臥式或垂直立式
◆附件 ：詳細參考ZYGO 激光干涉儀附件向導文件，OMP-0463
◆尺寸(長x寬x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
性能參數：
◆RMS重復性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
◆RMS波前重復性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
◆像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
工作環境：
◆溫度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)
◆溫度變化率： ＜1.0°C/15min
◆濕度:相對濕度5% - 95% , 無凝結
◆隔振:機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統。
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