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NRL180A愛發科干式真空泵

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產品型號NRL180A

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更新時間：2023-03-24 08:56:22瀏覽次數：296次

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產品簡介

NRL180A愛發科干式真空泵特長NRL系列在低溫領域下的均熱化

詳細介紹

NRL180A愛發科干式真空泵


特長

NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。

低噪音、低振動

優良的耐腐蝕性

標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。

選購件

可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。


用途

?   活性氣體（CVD、刻蝕等）。

?   排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

?   用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

?   作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。

?   冷凍干燥等水蒸氣排氣。


技術參數

NRL180A愛發科干式真空泵 技術參數


* 1   極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。
* 2   無結露。
* 3   用調節閥所調整的壓力表的值。
* 4   氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。



外形尺寸圖

NRL180A愛發科干式真空泵 尺寸圖


抽速曲線圖

NRL180A愛發科干式真空泵 抽速曲線圖


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