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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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產品簡介

特徴①SU3900標配多功能超大樣品倉

詳細介紹

特徴

①SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器，提高了樣品臺移動的安全性

■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

與GUI聯合，可配備樣品倉室導航相機
覆蓋整個可觀察區域
支持360度旋轉

②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

自動調整算法經改良后，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag，可實現多區域的大視野觀察

■Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告

③可提供滿足測試需求的應用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

*配件

①標配多功能超大樣品倉，支持大型樣品分析

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
GUI上顯示更換樣品的操作步驟?？梢员苊庖蛉藶榈恼`操作而導致樣品污染或損壞。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品，也能夠輕松更換。
樣品交換倉*
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式，開放了樣品臺移動的自由度。操作人員可自行判斷，自由移動樣品臺。
※選擇樣品臺自由模式時，請同時選配紅外CCD探測器。
紅外CCD探測器*，提高了樣品臺移動的安全性
紅外CCD探測器是用于監控樣品倉內部的裝置。通過使用紅外線攝像機，可以在觀察SEM圖像的同時監視樣品倉內部情況。為了獲得更詳細的位置，放大CCD圖像，并且移動觀察位置。

*配件

■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

與GUI聯合，可配備樣品倉室導航相機
與GUI聯合的SEM MAP，正是因為采用了樣品倉室導航相機，才得以實現廣角相機導航功能*。在SEM MAP上觀察目標位置，可以順利地移動到任意位置上。使用大視野相機導航系統拍攝的圖像或外部圖像，通過自由放大或縮小圖像，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。
*配件
覆蓋整個可觀察區域
相機導航系統通過圖像拼接功能可以實現大視野的SEM MAP觀察。觀察區域為直徑130mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺R一起聯動，移動到大型樣品的觀察區域。
支持360度旋轉
SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關系，因此在觀察高度差大的樣品時，可根據需求旋轉樣品臺或電子束來獲得的觀察分析位置，避免陰影效應造成的影響。

②隨著各種自動化功能的強化，操作性能得到了進一步優化。

■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI

搭載了簡約UI，簡單操作，如同觸屏般直觀。
- 從移動樣品臺到樣品觀察，輕輕點擊鼠標即可實現
- 也可觸屏操作
- 主窗口為1280x960像素的大窗口
- 可以切換顯示模式，并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號
■各種自動化功能
- 自動調整算法經改良后，等待時間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
  樣品安裝完成后，通過自動光路調整及各種自動功能調整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用全新設計的演算程序，在執行圖像自動調整功能時，等待時間縮短到以往的1/ 3以下。
- 采用了新的算法，提高了自動聚焦精度
  　全新升級的自動聚焦調整功能，即使是以往難以調整的光滑樣品，也能夠輕松得到良好的圖像。
- 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
  自動監視燈絲的狀態，自動控制使其一直處于性能的狀態。
  搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏。
  通過該功能，使得原來難以對應的長時間連續觀察以及數據分析等大范圍分析均可以安心實現。
■Multi Zigzag*，可實現多區域的大視野觀察

Multi Zigzag可以自動獲取連續的視野?？梢栽诓煌囊曇爸信臄z多張高倍率圖像，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像，創建大視野圖像。

*配件
- Report Creator，可利用獲得的數據批量生成數據報告
  在Report Creator中，可以將SEM圖像，EDS數據和CCD相機圖像等采集的圖像統一整合，生成報告。創建的報告可保存為Microsoft Office®格式。保存的文件可通過Microsoft Office®進行編輯。
③可提供滿足測試需求的應用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器
- 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
  SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外，還可以通過檢測電子束照射樣品而產生的陰極熒光，來獲取CL信息。
- 高靈敏度半導體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像。
通過采用4分割+1單元的設計，對每個單元進行計算，無需傾斜樣品，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像。由于探測器的設計十分精巧，且靈敏度高，實現了高分辨率和高信噪比。

■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

　 SU3900標配多功能超大樣品倉，可應對大型樣品的觀察。

■SEM/EDS一體化功能*

SU3800/SU3900全新研發的SEM/EDS一體化功能，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設置、樣品分析以及生成報告等一系列操作。通過SEM的全面控制，可以提高測試效率，減輕了操作人員的負擔。

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當中的4個不同方向的SEM信號進行演算分析，生成三維圖像。支持2點間高度、體積和簡易表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測量。可一次性接收四個不同方向的信號，因此，無需傾斜樣品臺或合成圖像。

■支持圖像測量軟件Image pro

SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸到由美國Media Cybernetics公司開發的圖像處理軟件Image Pro。只需單擊一下，即可將數據從SEM傳輸到圖像測量軟件。

ITEM		SU3800	SU3900
二級電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
二級電子分解能		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（實際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續
	T	－20°～+90°
	可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機驅動	5軸電機驅動
電子光學系統	電子槍	中心操控式鎢絲發射
	物像鏡頭光圈	4孔可動光圈
	檢測系統	二級電子檢測器、高靈敏半導體背散射電子檢測器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動光軸調整功能	自動光束調整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動光軸調整（實時級別對齊）
		自動調整光束亮度
	自動圖像調整功能	自動亮度和對比度控制（ABCC）
		自動對焦控制（AFC）
		自動標記和焦點功能（ASF）
		自動燈絲飽和度調整（AFS）
		自動光束對準（ABA）
		自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機旋轉、動態聚焦、圖像質量改善功能、數據輸入（點對點測量、角度測量、文本）、預設放大、樣品臺位置導航功能（SEM MAP）、光束標記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機導航系統■軟件:SEM數據管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺移動限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺（加熱臺、冷卻臺、牽引臺）