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廣州市嘉晟精密科技有限公司
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XM-60是一款可測量6個自由度的激光測量系統：沿線性軸測量只需一次設定
XM-60多光束激光干涉儀
XM-60是一款可測量6個自由度的激光測量系統：
沿線性軸；
測量；
只需一次設定 測量誤差包括：
軸的線性定位；
垂直平面的角度旋轉（仰俯）；
水平平面的角度旋轉（扭擺）；
水平平面的直線度偏移；
以線性運動軸為中心的滾擺；
性能規格
| 線性 | |
| 測量精度 | ±0.5ppm（使用環境補償） |
| 分辨率 | 1nm |
| 測量范圍 | 0m至4m |
| 直線度 | |
| 精度 | ±0.01A/±2µm(A=顯示的直線度讀數) |
| 分辨率 | 0.25µm |
| 測量范圍 | 250µm（半徑） |
| 角度（俯仰/扭擺） | |
| 精度 | ±0.006A/±(0.5微弧度+0.1M微弧度)(M=測量的距離，單位：米) (A=顯示的角度讀數) |
| 分辨率 | 0.03微弧度 |
| 測量范圍 | ±500微弧度 |
| 滾擺 | |
| 精度 | ±0.01A±9.1微弧度(A=顯示的角度讀數) |
| 分辨率 | 0.5微弧度 |
| 測量范圍 | ±500微弧度 |
工作與存儲環境
| 工作環境 | ||
| 空氣壓力 | 600毫巴-1150毫巴 | 標準環境 |
| 濕度 | 相對濕度0%-95% | 非冷凝 |
| 溫度 | 10°C至40°C |
|
| 存儲環境 | ||
| 空氣壓力 | 550毫巴–1200毫巴 | 標準環境 |
| 濕度 | 相對濕度0%-95% | 非冷凝 |
| 溫度 | -20°C至70°C |
|
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