美能探針式臺階儀SP200

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更新時間：2023-05-19 15:17:04瀏覽次數：216次

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蘇州上器試驗設備有限公司

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產品簡介

表面微觀特征是材料、化學、精密制造等領域的主要研究內容，準確地評價表面微觀形貌、表面特征等，對于相關材料的評定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領域，表面臺階高度、膜厚的準確測量具有十分重要的價值，尤其是臺階高度是一個重要的參數，對各種薄膜臺階參數的精確、快速測定和控制，是保證材料質量、提高生產效率的重要手段。

詳細介紹

出色的重復性和再現性

(1)單拱龍門式設計，結構穩定性優異，大大降低了周圍環境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。；
(2)線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13um 量程下可達0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。;

超微力恒力傳感器：1-50mg可調

的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和正常力測量。測力恒定可調，以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制，實現無接觸損傷的精準接觸式測量。

超平掃描平臺

系統配有超高直線度導軌，杜絕運動中的細微抖動，提高掃描精度，真實反映工件微小形貌。

全自動XY載物臺，Z軸自動升降、360°全自動θ轉臺

精密的XY平臺結合360°連續旋轉電動旋轉臺，可以對樣品的位置以及角度進行調節，三維位置均可以調節，利于樣品調整，提高測量效率。

項目	內容
技術測量	探針式表面輪廓測量技術
樣品觀測	光學導航攝像頭：500萬像素高分辨率彩色攝像機，FoV，1700*1400μm
探針傳感器	超低慣量，LVDC傳感器
測量力	1-50mg可調
探針選型	探針曲率半徑2μm，夾角60°
Z軸測量重復性	＜0.5% 在環境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標準臺階樣塊
平臺移動范圍X/Y	電動X/Y（100mm*100mm）（可手動校平）
樣品R-θ載物臺	電動，360°連續旋轉
單次掃描長度	55mm
樣品厚度	50mm
載物臺晶圓尺寸	150mm（6時），200mm（8時）
臺階高度重復性	＜1nm（測量1μm臺階高度，1δ）
傳感器量程	330μm
垂直分辨力	分辨力＜0.25 ?（量程為13um時）
掃描速度	2μm/s-10mm/s
儀器電源	100-240 VAC，50/60 Hz
使用環境	相對濕度：濕度（無凝結）30-40% RH 溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃) 地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）音頻噪音：≤80dB 空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）
尺寸和重量	長×寬×高: 640626534(mm) 儀器總重量：<50kg