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大連科立恩氣體凈化科技有限公司


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HON-He/Ar/Ne/Xe-SX/WX/VX系列惰性氣體純化器

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更新時間：2023-06-05 18:55:13瀏覽次數：292次

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產品簡介

HON-He/Ar/Ne/Xe-SX/WX/VX系列惰性氣體純化器

詳細介紹

系列

Series

雜質

Impurity

入口

Inlet（ppm）

出口

Outlet（ppb）

HON- He/Ar/Ne/Xe -SX/WX/VX

O2

＜3

＜1

N2

＜1

＜1

H2

＜1

＜1

CO

＜1

＜1

CO2

＜1

＜1

THC

＜1

＜1

H2O

＜3

＜1

PARTICLES

--

≤10pcs/m3, 0.003μm

Pressure Drop

＜1bar

Flow

10～3000Nm3/h

 

工藝介紹：

（1）先通過物理和化學吸附脫除O2、CO、CO2、H2O等雜質。

（2）通過吸氣工序高溫下進一步脫除O2、CO、CO2、H2O同時深度脫除CH4、N2。

（3）通過脫氫工序常溫下深度脫除H2雜質。

（4）吸附反應器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復使用。

（5）吸氣反應器吸附飽和后須整體更換。

 

應用領域：

集成電路制造行業

半導體、LED、激光、太陽能光伏行業

氣體行業

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