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半導(dǎo)體烘烤設(shè)備
HMDS烘箱
環(huán)境檢測試驗箱
烘箱、烤箱
超低溫試驗箱
橡塑檢測儀器設(shè)備
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導(dǎo)體直流電阻測試儀
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黑蒜發(fā)酵設(shè)備
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HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用2023/12/13
HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用為:增強光刻膠和襯底表面的粘附力。光刻工藝中涂膠顯影流程包括HMDS(六甲基二硅氮烷,增粘劑)預(yù)處理、涂膠、前烘、曝光、后烘、顯影和堅膜。HMDS預(yù)處理作用:增...
HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的?2023/11/9
HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來增黏的作用。HMDS中文名六甲基二硅氮烷,是一種有機物,在水中的溶解性很低,但它可與多種有機溶劑混溶,比如醇、醚和多...
配有HMDS氣體檢測的HMDS烘箱有嗎2023/10/26
配有HMDS氣體檢測的HMDS烘箱HMDS烘箱用于光刻前基板的疏水性處理工藝。它是將HMDS(六甲基二硅胺烷)通過氣相沉積的方法均勻的涂布在基底表面,使基底表面接觸角增大,基底表面由親水性變?yōu)槭杷裕?..
高低溫沖擊試驗箱兩箱和三箱該怎么選?2023/10/26
三廂式高低溫沖擊試驗箱的設(shè)計是將低溫區(qū)、高溫區(qū)和試驗區(qū)三個部分集成在一起。這三個區(qū)域是獨立的,它們之間通過風(fēng)門進行切換,不需要移動試驗產(chǎn)品。兩廂式高低溫沖擊試驗箱的工作原理是通過控制制冷系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)...
雙腔式PI固化爐的優(yōu)點2023/10/26
雙腔式PI固化爐操作步驟雙腔式PI固化爐即具有兩個工作室的PI固化爐,可同時運行也可獨立操作。不僅具有單腔固化爐的所有功能,而且還能夠使用不同的生產(chǎn)工藝。排氣等管道合二為一,節(jié)約能源,更加環(huán)保;雙腔式...
氮氣烘箱在半導(dǎo)體制程如何選擇?2023/10/26
每個半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造都需要數(shù)百個工藝,整個制造過程分為八個步驟:晶圓加工-氧化-光刻-刻蝕-薄膜沉積-互連-測試-封裝。然而在這數(shù)百個工藝中有數(shù)道需要烘烤工藝,而且每個烘烤工藝不是相同,所以需要的烘烤...
無需液氮的-150度的超低溫試驗箱你知道嗎?2023/10/26
-150度的超低溫試驗箱采用先進的復(fù)疊制冷技術(shù),以多元混合工質(zhì)作為制冷劑。極大地簡化了制冷系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),降低了初投資成本,減小系統(tǒng)運行能耗,提高系統(tǒng)可靠性。制冷系統(tǒng)采用精餾的方法巧妙的完成了潤滑油與混合...
氮氣烘箱,百級潔凈烘箱在光刻軟烘烤工藝注意事項有哪些?2023/10/7
光刻加工中涂布后,所得的抗蝕劑膜將包含20-40%重量的溶劑。后涂覆烘烤工藝,也稱為軟烘烤或預(yù)烘烤,涉及在旋涂之后通過除去該過量溶劑來干燥光致抗蝕劑。減少溶劑含量的主要原因是使抗蝕劑膜穩(wěn)定。在室溫下,...
HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝2023/10/7
HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝第三代半導(dǎo)體是以碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石、氮化鋁(AlN)為代表的寬禁帶(禁帶寬度Eg2.3eV)的半導(dǎo)體材料。其中又以SiC...
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)在超薄鈮酸鋰材料的應(yīng)用2023/7/6
鈮酸鋰具有出色的光電特性,作為一種集成光子平臺,受到廣泛關(guān)注。在此基礎(chǔ)上,各種功能光子器件,如電光調(diào)制器和非線性波長轉(zhuǎn)換器,已經(jīng)展現(xiàn)出令人矚目的性能。與此同時,基于鈮酸鋰薄膜的激光器和放大器作為集成光...
充氮真空無氧烘箱的原理2023/7/4
1.充氮真空無氧烘箱的原理,其原理通過外接氮氣置換裝置,使箱體內(nèi)達到無氧真空狀態(tài),提供無氧潔凈的固化環(huán)境。2.充氮真空烘箱熱量利用的比較充分,專為干燥熱敏性、易分解等物質(zhì)而設(shè)計,能夠向內(nèi)部充入惰性氣體...
碳化硅材料技術(shù)對器件可靠性的影響2023/6/25
碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈包含碳化硅粉末、碳化硅晶錠、碳化硅襯底、碳化硅外延、碳化硅晶圓、碳化硅芯片和碳化硅器件封裝環(huán)節(jié)。其中襯底、外延片、晶圓、器件封測是碳化硅價值鏈中最為關(guān)鍵的四個環(huán)節(jié),襯底成本占到碳化硅器件總...
光刻工藝中HMDS烤箱的重要作用2023/5/4
光刻工藝中HMDS烤箱的重要作用在集成芯片生產(chǎn)流程中,包括提純、制備、光刻、封裝。其中最關(guān)鍵的一環(huán)就是光刻。而光刻技術(shù)就是指集成電路制造中利用光學(xué)、化學(xué)反應(yīng)原理及化學(xué)、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單...
高溫?zé)o氧烤箱在低介電常數(shù)BCB樹脂的固化工藝中的操作方法2023/4/28
低介電常數(shù)BCB樹脂的固化方法,具體步驟如下:1:在半導(dǎo)體芯片表面涂覆一層粘附劑;2:通過旋轉(zhuǎn)方式在半導(dǎo)體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)BCB樹脂,接著將涂覆好BCB樹脂的半導(dǎo)體芯片放入高溫?zé)o氧烤箱中...
雋思HMDS烘箱在功率半導(dǎo)體芯片及器件廠獲得好評2023/4/13
我司HMDS烘箱在某功率半導(dǎo)體芯片及器件廠順利生產(chǎn)多年,獲得優(yōu)質(zhì)供應(yīng)商好評!該公司專業(yè)從事功率半導(dǎo)體芯片及器件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,是一家以芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝測試的垂直一體化經(jīng)營為主的功率半導(dǎo)體芯...

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