半導體集成電路芯片電子產品清洗工業超純水設備

半導體集成電路芯片電子產品清洗工業超純水設備適用于電子行業生產用超純水，半導體集成電路芯片電子產品，液晶顯示產品清洗。采用二級反滲透+EDI+SMB工藝制取超純水，在電子級超純水方面有大量案例，歡迎考察，福地電子，比亞迪電子，東陽光，創維，中電四公司等。

一．前言

本方案涉及的流程及設備是為了滿足浙江宸億科技有限公司生產工藝用高純水項目，要求如下：

1、純水水量 18MΩ.cm    10  m3/h

2、二級反滲透+EDI超純水設備系統制備的主要技術參數：

A.前處理產水量 :   ≥20m3/h；

B.反滲透設備系統 二級反滲透產水量 :   ≥12m3/h；

C.EDI去離子系統產水量 : ≥10m3/h；

3、產水水質指標

10m3/h     ≥18 MΩ·cm （參照國標EW-Ⅱ）

供水壓力   0.35Mpa

塵粒直徑： 0.5，1ea以下/100ml以下

溫度：     常溫；

4、系統配置：預處理、二級反滲透、EDI電再生連續除鹽裝置。

5、供水方式：連續產出（24小時運行）。

二.  設計依據

1、本電子工業純水站工程項目設計依據如下：

1.1.原水水質分析資料；

1.2.高純水的品質要求（產品水水質指標），以及相關國家標準；

1.3.高純水的生產規模;

1.4.用戶對系統整體水準要求。

2、  原水水質資料和技術指標

2.1 表1. 原水水樣水質分析報告（供參考）：

檢測報告表

原水：市政自來水

檢測結果：無

2.2  電子級水國家標準

2.3  本方案設計指標

2.3.1. 水量：       18MΩ.cm    10m3/h

2.3.2. 電阻率：10m3/h      ≥18 MΩ·cm

2.3.3.15MΩ.cm水其它指標 SiO2：     ＜50 ppb  TOC：      ＜100  ppb  塵粒直徑： 0.5μm，1ea以下/100ml以下

2.3.4.供水壓力   0.35Mpa

2.3.5.供水溫度   常溫

三. 總體設計方案

1、系統組成

2、二級反滲透+EDI超純水設備系統布局

預處理部分、二級反滲透部分、EDI部分、18M供水部分集中放置在*水站。為保證高純水的水質和水量，將整個水處理系統置于PLC控制下運行，并適時監控。

3、控制系統結構

控制系統采用分散控制，集中監視的控制系統。操作站選用PLC控制器控制，組成一個高可靠性的自動運行和監視控制的控制系統。       

4、純水處理系統_10立方米/小時純水處理系統_電子級工業超純水設備工藝流程簡圖

原水泵→絮凝加藥裝置→石英砂濾器→活性碳濾器→阻垢加藥裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→PH調節裝置→一級RO水箱→二級高壓泵→二級反滲透裝置→二級RO水箱→中間水泵→UV裝置→精密濾器→EDI設備→純水箱→變頻水泵→除TOC裝置→精混床→精密濾器→用水點

5、工藝說明

5.1  預處理部分目的：為反滲透裝置提供合格的進水。

5.1.1原水預處理的目的和組成

A.反滲透系統進水要求：

（1）污染指數：          SDI≤4；

（2）余氯：              <0.1 ppm

（3）濁度                <1NTU

（4）供水Fe3+             ≤0.01ppm。

（5）供水水溫適宜范圍    10～30℃。

（6）碳酸鈣飽和指數      LSI：<0

B.預處理系統就是通過絮凝、過濾、吸附等方法使反滲透進水達到以上要求，以實現以下目的：

（1）防止反滲透裝置膜面結垢（包括CaCO3、CaSO4、SrSO4、CaF2、SiO2、鐵鋁氧化 物等）；

（2）防止膠體物質及懸浮固體微粒對反滲透的污堵；

（3）防止有機物質的對反滲透的污堵和降解；

（4）防止微生物對反滲透的污堵；

（5）防止氧化性物質對反滲透膜的氧化破壞；

C.預處理系統的組成：包括石英砂濾器、活性炭濾器。

5.1.2石英砂濾器

多介質過濾器中的濾料包括多種規格的石英砂，用于除去原水中的懸浮物及及脫穩后的膠體,以使出水的污染指數SDI<4達到RO進水要求。

5.1.3活性炭濾器

活性炭被廣泛應用于生活用水及食品工業、化工等工業用水的凈化，由于活性炭的比表面積很大，其表面又布滿了平均為20—30埃的微孔，因此，活性炭具有很高的吸附能力。此外，活性炭的表面有大量的羥基和羧基等官能團，可以對各種性質的有機物質進行化學吸附，以及靜電引力作用，因此，活性炭還能去除水中對陰離子交換劑有害的腐殖酸、富維酸、木質磺酸等有機物質，還可去除象余氯一類對陰離子交換劑有害物質，從而提高了除鹽水處理能力，防止樹脂被氧化。通常能夠去除63%—86%膠印體物質，50%左右的鐵，以及47—60%的有機物質。

5.1.4阻垢加藥裝置

自來水中含有一部分鈣、鎂離子等容易結垢性的物質，此類離子在水中的溶解性相對比較小，而反滲透部分對離子的攔截比較充分，必然會加大濃水側離子的濃度；從而導致影響整個反滲透膜的進水通道。阻垢劑是一種增大難溶解性離子溶解度的一種化學藥品，通常對鈣、鎂離子的溶解度能增加3倍左右；能很好的調節由于濃縮而引起的結垢總問題。

阻垢劑的投加量一般在2-5ppm左右。根據原水水質的總硬試值調節加藥量。

5.2  二級反滲透部分

滲透是水從稀溶液一側通過半透膜向濃溶液一側自發流動的過程。半透膜只允許水通過，而阻止溶解固形物(鹽)的通過，見圖 (a)。 濃溶液隨著水的流人而不斷被稀釋。當水向濃溶液流動而產生的壓力足夠用于阻止水繼續凈流入時，滲透處于平衡狀態，見圖 (b)。平衡時，水從任一邊通過半透膜向另一邊流入的數量相等，即處于動態平衡狀態，而此時壓力p稱為溶液的滲透壓(注意：半透膜一邊是純水，另一邊是鹽溶液)。

當在濃溶液上有外加壓力，且該壓力大于滲透壓時，濃溶液中的水就會通過半透膜流向稀溶液，使得濃溶液的濃度更大，這一過程就是滲透的相反過程，稱為反滲透，見圖 (c)。

滲透是自發過程，而反滲透則是非自發過程。反滲透系統正是利用反滲透的原理，將需要處理的高含鹽水用高壓泵加壓，迫使水透過反滲透膜，以達到脫除鹽份的目的。

二級反滲透是對一級反滲透產水的進一步提純。

5.2.1保安濾器

為防止水中及管道中的微粒進入高壓泵和RO膜組件，特設置保安濾器作為zui后的預處理手段。作為保險措施，即使多介質機械濾器過濾不*，也能夠保證反滲透膜不會受到嚴重污染。

保安濾器內裝5um的聚丙稀微孔濾器。當濾器進出囗壓差大于0.05-0.1Mpa時需更換濾芯（由于被過濾的介質直接進入到微孔濾膜的空隙中，因此很難通過酸堿清洗恢復通量）。濾器結構能滿足快速更換濾芯的要求

5.2.2高壓泵

反滲透膜分離推動力是壓力差，因此設置高壓泵使反滲透的進水達到一定的壓力，讓反滲透過程得以進行。即克服滲透壓使水分子透過反滲透膜到淡水層。高壓泵采用變頻器設置加、減速時間減緩高壓泵啟動時膜的沖擊，變頻器還能進一步起到節約能量的作用；新系統剛運行的時候對進水的壓力要求比使用一段時間之后對進水的壓力要求要低。采用變頻裝置能更好的控制高壓泵的壓力與進水流量之前的變化。本系統設置了進水低壓保護和出水高壓保護。

5.2.3反滲透本體裝置

反滲透裝置是該項目預脫鹽的心臟部分，經反滲透處理的水能去除絕大部分無機鹽、有機物、微生物及細菌等。

5.2.3.1系統設備選型

膜組件選用美國陶氏公司BW30-400卷式組件。該組件由三層的薄膜復合，分別是zui上面的超薄脫鹽層（厚度約為0.2µm聚銑胺材質）、中間的聚楓內夾層和zui下面的聚酯支撐網層。該組件膜面積400平方英尺，產水通量大，對無機鹽具有99.5℅的脫除率。

壓力膜管選用加拿大海德信公司于卷式RO組件的WAVE 300P-6型壓力膜管，該壓力膜管是增強FRP材質，具有抗腐蝕性，耐壓300psi,管內壁光滑裝卸方便等特點。每個壓力膜管可安裝6支膜組件。

5.2.3.2反滲透裝置工藝設計

整套系統反滲透膜裝置安置在一個機架上，并配置控制系統，在進水水溫25℃時二級反滲透產水量12.0T/H，每根膜組件zui大的回收率15℅計算，一級反滲透裝置需配膜組件12根， WAVE 300P-6壓力膜管5根；二級反滲透裝置需配膜組件10根，WAVE 300P-5壓力膜管2根；一級反滲透組合排列形式為1-1排列，二級反滲透組合排列形式為1-1。反滲透每支壓力膜管產水側設有取樣囗，方便取樣。

5.2.3.3自動低壓沖洗裝置

反滲透在運行的過程中，濃縮過程和濃差極化將導致膜表面所接觸原水的固含量濃度遠遠大于原水的本體濃度。因此配備自動低壓沖洗裝置在停機后、開機前對反滲透膜進行定時的低壓沖洗，將附于膜表面的少量污染物沖走。沖洗完成后，系統自動恢復到沖洗啟動前的狀態。

5.2.3.4就地儀表配置

反滲透裝置設置二次儀表顯示裝置，就地顯示產水量、電導率等重要參數。系統設置高、低壓保護開關，保證反滲透系統安全可靠運行。

5.2.4反滲透脫鹽水水箱

反滲透產品水送入PE材質的水箱。該水箱設置高低液位控制裝置能控制泵的聯鎖，同時配備空氣呼吸器防止大氣中塵埃顆粒和細菌進入水箱。

5.2.5反滲透化學清洗裝置

無論預處理過程多么完善，在*運行過程中，反滲透膜面上總會日積月累水中存在的各種污染物。從而使裝置的性能下降，如組件進出囗壓差升高、脫鹽率下降、產水量下降，當這些變化超過原始值的15%時，就要用化學藥品進行清洗。為此，除日常運行中進行的低壓沖洗外，還需進行定期化學清洗，有時還需進行殺菌處理。

本系統配置的化學清洗裝置，其組成和流程如下：清洗液水箱——泵——精密濾器——流量計——反滲透裝置

化學清洗準則

A、裝置的產水量比初次或上一次清洗后下降5～10℅時；

B、裝置的鹽透過率比初次或上一次清洗后提高一倍時；

C、裝置各段的壓力差或壓力差的差值為初次或上一次清洗后的1～1.5倍時；

D、裝置運行3-4個月時；

E、裝置在*停止運行前用NaHSO3溶液保護。

5.3  EDI部分

5.3.1 UV裝置

紫外光是電磁波譜的一部分，其波長位于100nm到400nm之間。滅菌波長位于200nm到310nm之間的波譜區。微生物被紫外光滅活是由于光化學反應破壞了其體內的核酸物質的結果。這一過程有效的阻止了細胞和病毒的繁殖從而導致細胞的死亡。紫外光通過改變細菌、病毒和其它微生物細胞的遺傳物質（DNA），使其不再繁殖而達到對水與廢水進行消毒的目的。浸沒于水下的燈管產生紫外光，當水流流經紫外燈管時，其中的微生物受到某*死劑量紫外能的輻射。紫外劑量為所受UV輻射光強與曝光時間的乘積。

5.3.2 EDI裝置

EDI是連續電再生除鹽裝置的英文縮寫，是電解、滲析及離子交換相結合的深度脫鹽裝置，由給水室、濃水室和電極室組成。給水室內裝填常規混合離子交換樹脂，給水室和濃水室之間裝有陽離子交換膜和陰離子交換膜。給水室中的陰（陽）離子在兩端電極作用下不斷通過裝置里的陰（陽）離子膜進入濃水室；H2O在直流電能的作用下可分解成H+和OH-，使給水室中的混合離子交換樹脂經常處于再生狀態，因而有深度除鹽能力。因此EDI在通電狀態下可以不斷地制出純水，其內填的離子交換樹脂不用酸堿再生。

運用EDI技術使酸堿污染降低為零，且可降低成本及勞動強度。反滲透產水經過EDI裝置深度脫鹽處理后出水電阻率在16.0MΩ.cm（25℃）左右 。                                                                  

本系統配置美國IONPURE型號為IPLX30Xzui大處理量為4.95 T/H的膜塊共3塊，每個膜塊設置單獨的電源。

正常情況下3塊同時工作，每個模塊處理水量為3.3T/H。為了保障用水安全，每個模塊可以單獨關閉。

本系統設置了水流保護開關，防止干燒導致EDI損壞。

5.3.3純水箱

EDI產品水送入PE材質的水箱。該水箱設置高低液位控制裝置能控制泵的聯鎖，同時配備空氣呼吸器防止大氣中塵埃顆粒和細菌進入水箱。

5.4  18M供水部分

EDI產水電阻率zui高在17 MΩ.cm左右，為達到用水標準，在終端增加了精混床用以提升水質。

5.4.1 TOC脫除器

TOC脫除器采用的是185nm的紫外光，它能夠打開將有機物分子結合在一起的化合鍵。因此，這一波長的紫外光能夠破壞水中的有機化合物、臭氧、氯和氯胺。破壞產生后產生的物質用后續的精混床脫除。同時，它也具有一定的殺菌作用。

5.4.2精混床

精混床是以陽、陰兩種離子交換樹脂按一定比例混合后裝填于同一交換器中，相當于一個多級的除鹽系統。其中經H型強酸性陽樹脂與水中陽離子交換后形成的H+，和經OH型強堿性陰樹脂與水中陰離子交換后形成的OH-相結合，形成電離度很小的水，使交換過程中形成的H+和OH-不能積累，從而消除了反離子對交換過程的干擾，使離子交換反應*,因此，混床出水水質好。

（一）、氫型陽離子交換樹脂的交換反應：

A、與碳酸鹽硬度的交換反應：

Ca(HCO3)2 + 2RH → R2Ca + 2HO2 + 2CO2↑

 Mg(HCO3)2 + 2RH → R2Mg + 2HO2 + 2CO2↑

B、與非碳酸鹽硬度的交換反應：

CaSO 4 + 2RH → R2Ca + H2SO4

CaCl2 + 2RH→ R2Ca + 2HCl

MgSO 4 + 2RH → R2Mg + H2SO4

MgCl2 + 2RH → R2Mg + 2HCl

 C、與鈉鹽的交換反應：

NaHCO 3 + 2RH → RNa + H2O + CO2↑

NaCl + RH → RNa + HCl

NaSO 4 + 2RH → RNa + H2SO4

 Na2SiO 3 + 2RH → 2RNa + H2SiO3

（二）、氫氧型陰離子交換樹脂的交換反應：

Cl- + ROH → RCl + OH-

HSO 4- + ROH → RHSO 4 + OH-

SO4- + ROH → R2SO4 + 2OH-

 HCO3- + ROH → RHCO3 + OH-

HSiO3- + ROH → RHSiO3 + OH-

精混床樹脂不同于普通混床的樹脂，陽離子交換樹脂氫化率及陰離子交換樹脂氫氧化率幾乎達到了*，并按比例充分混合。因此該樹脂無法再生，不過由于進水含鹽量低，一般可用1年左右時間。

5.4.3  0.22μ精密濾器

0.22μ過濾器是用于阻擋純水中微小顆粒特，以滿足使用點對產品水中微粒的要求。設置0.22μ精密濾器進行深度處理，除去水中固體顆粒物，濾芯過濾精度（孔徑）0.22μm，可有效除去水中懸浮顆粒，使用的濾芯具有大量固定不規則孔徑（公稱孔徑0.22μm），屬微孔膜過濾，因膜孔徑固定，可保證過濾的精度和可靠性。
濾器內裝10支40英寸長，0.22μm的聚丙稀微孔濾芯，出力為10 T/H。濾器結構能滿足快速更換濾芯的要求。
          

6.  工藝控制設計說明

6.1 控制系統概述
   

 根據本系統的規模及設備分布的具體情況，決定采用目前工業過程控制中zui常用的集中分散型控制系統。它又稱分級控制系統，是一種分布式控制系統，具有控制分散，信息集中管理的特點。本系統分上位操作站，下位控制站兩級。上位操作站由一臺主控制箱作為監控站。下位控制站的設置是根據優化控制，合理布局的原則視具體情況而定的，同時為方便系統在實施階段或運行階段進行必須的調整及擴展，控制站考慮了一定的余量。

6.2 控制系統功能簡介

6.2.1 上位操作站

主要完成系統中各操作站的監視參數設置,設備運行等操作功能，具有清晰的生產設備運行情況，可在流程圖上對現場設備進行遠方手動操作，實現遠程控制。生產過程的電阻率及電導率可以在線顯示。

6.2.2  可編程控制器PLC

各控制站都采用以微處理器為基礎的可編程控制器PLC，它具有高可靠性，編程方便，易于使用，與其它裝置配置方便等特點，各生產過程的程序、數據都存儲PLC的CPU里獨立運行，工作人員可通過計算機操作站來監視其運行。PLC具有很強的運算功能，能完成復雜的操作，可配合操作員通過對整個生產過程的運行參數和狀態進行集中監控，以實現對整個系統的程控，運行，遠操等過程。各控制執行機構均配制行程開關。

6.2.3 電導率、電阻率、等顯示

現場配備電導率儀表，電阻率儀表，以便重要電導率、電阻率等指標能夠在水處理車間和控制室同時顯示。

6.3系統水處理控制介紹

依據水處理的工藝過程，本控制系統對各個工藝單元進行直接協調、管理、控制。系統監控對象由以下單元組成：

6.3.1 預處理部分控制

預處理部分以原水箱為連續運行控制點。
當原水箱液位處于較低限位置,低液位開關向PLC輸入開關信號, PLC即控制原水進水電磁閥開啟；當原水箱液位處于低限位置,低液位開關向PLC輸入開關信號, PLC即控制預處理部分停止；當水箱液位處于高限位置,高液位開關向PLC輸入開關量信號, 原水進水電磁閥關閉。

6.3.1.1  石英砂濾器

濾器的運行、反洗步驟由人工控制的閥門實現，當運行時長大于設定值，控制閥門按順序進行反洗操作，反洗結束后投入運行。只有在反滲水箱液位達到高位時，濾料清洗才能開始，這樣可以保證后續反滲透裝置的連續供水。  

6.3.1.2  活性炭濾器

活性炭濾器設置運行及反洗步驟由人工控制的閥門操作，根據運行時間參數控制氣動閥門按順序進行反洗操作，反洗結束后投入運行。只有在反滲水箱液位達到高位時，濾料清洗才能開始，這樣可以保證后續反滲透裝置的連續供水。

6.3.2 反滲透部分

6.3.2.1.自動運行控制：

反滲透自動運行通過反滲透中間水箱的液位來進行。
當反滲透中間水箱液位處于較低限位置,較低液位開關向PLC輸入開關信號, PLC即控制高壓泵開始運行；當水箱液位處于高限位置,高液位開關向PLC輸入開關量信號, 反滲透高壓泵停止運行，輸入的信號將在CRT上顯示。

6.3.2.2.反滲透的控制配置

反滲透進水側設有電導率檢測儀表，將電導率值的模擬量信號輸入PLC，并在顯示器上顯示參數。反滲透產水側設有電導率檢測儀，將產水電導率值的模擬量信號輸入PLC，并在顯示器上顯示參數。

反滲透高壓泵進水設置低壓保護開關，當壓力小于0.1-0.15Mpa時，控制高壓泵停止運行，反滲透裝置進入低壓沖洗狀態，并在顯示器上顯示報警。當壓力大于0.1-0.15時高壓泵即起動，反滲透裝置投入運行。    

反滲透高壓泵出水側管路設壓力開關，當壓力大于某一設定值時，PLC輸出開關信號，停止高壓泵運行，并在顯示器上顯示、報警。

 反滲透濃水側設一電動快沖洗閥門，在高壓泵運行前和高壓泵停止后，接受PLC輸出的開關量信號，自動進入低壓沖洗狀態。

6.3.4 EDI除鹽系統

EDI連續脫鹽系統的由PLC控制實現自動運行，當氮封水箱液位低于中間液位時，EDI系統啟動。當氮封水箱液位達到高液位時，EDI系統停止。

為防止EDI系統干燒，系統設置了水流保護，當無水流通過時，系統自動切斷相應電源。

UV裝置的開啟關閉跟隨相應EDI系統。

純水箱內裝有壓力微動開關，當水箱內出現負壓時，系統會立即開啟安全閥，并報警和提示報警的原因。

6.4 主要控制設備

6.4.1、系統PLC選用德國西門子S7系列可編程控制器，各類I/O包含10%備用點。
6.4.2、流量計選用浮子流量計。
6.4.3、壓力開關選用中國臺灣凡宜進口產品或相當產品。
6.4.4、電導率、電阻率儀選用上海誠磁公司或相當產品。

五、 系統設備布置

控制臺布置在*水站控制室內。

車間內電纜采用橋架架空或穿線管，控制室內電纜敷設走電纜溝。

氣動閥的氣源通過環繞車間的氣源母管引到電磁閥柜，從電-氣轉換柜到氣動 閥的氣管路采用增強軟管。
系統控制方案

六、概述
浙江宸億科技有限公司水處理超純水工程，其制水流程為預處理+二級反滲透+EDI+精混床的全膜法除鹽工藝方式，其中原水預處理系統有機械過濾器、活性碳過濾器、軟化器，采用母管制進出水控制方式；其運行閥門和反洗閥門將使用自動氣動蝶閥門。除鹽水處理系統采用二級反滲透+EDI除鹽工藝方式，*級除鹽采用二級反滲透裝置；第二級除鹽采用EDI系統，其運行閥門和再生閥門將采用自動閥門。

純水處理是一種較復雜的生產過程，即有泵組等啟停、保護、設備相互協調和分配，濾器產水運行和再生控制；又有水質控制量的閉環控制和大量現場設備的運行狀態、水質、水量、壓力、水位等參數的采集，還有24小時運行數據的處理。基于以上特點，為提高運行的可靠性和水務管理的可行性，并降低運行成本。系統可采用PLC可編程控制系統對水處理設備進行全自動控制。

設計方案

為了能順利實現水處理系統監控，并提高對數據的充分利用和水處理在線監控水平。在總體設計思路指導下，利用PLC（可編程序邏輯控制器）完成對現場生產設備進行信息數據采集及控制。

本水處理系統可分為相對獨立的系統進行生產水處理控制，由PLC控制完成，其可進行自動、半自動、手動三種工作方式操作運行。

為保證水處理系統的正常運行，對于各生產過程的重要工藝參數在現場進行儀表現實進行在線狀態監控；配置光字牌報警裝置實現對重要信號超限報警提示；在中控室控制柜上設置主要程控步序操作的按鈕用于實現對生產過程緊急情況的遠程操作。增加優先手動操作功能以實現應急情況處理及控制設備目的。
本工程zui終實現水處理工藝生產過程PLC自動控制

控制方案

為能使系統順利實現自動控制，水處理系統中的泵信號、控制閥門信號、反饋信號及電導率、壓力、液位等各種檢測裝置信號均進入PLC控制站，由PLC控制站完成對現場相應設備控制。

原水箱液位監控

原水箱內設有高、中、低點液位檢測裝置，將液位送至PLC，以方便操作人員隨時掌握其水位，同時方便操作人員隨時進行控制。

原水泵監控

原水泵采用一用一備運行方式，由PLC直接控制其啟動或停止，本系統可通過遠控、近控對其實施操作；原水泵運行條件必須滿足于原水箱達到一定液位；同時系統在操作臺上具備手動優先切換、選擇、啟停原水泵的權力。

機械過濾器控制

機械過濾器根據時間設定自動運行、自動反洗。根據實際過濾效果，可以選擇全自動、半自動、手動進行控制。

活性碳過濾器控制

活性碳過濾器根據時間設定自動運行、自動反洗。根據實際過濾效果，可以選擇全自動、半自動、手動進行控制。

高壓泵監控

高壓泵由PLC直接控制變頻器執行其啟動或停止，本系統可通過遠控、近控對其實施操作；高壓泵運行條件必須滿足于高壓泵前壓力達到設定值。同時系統在操作臺上具備手動優先切換、選擇、啟停高壓泵的權力。

二級反滲透裝置控制

二級反滲透裝置，采用停機自動沖洗，到中間水箱液位高時，原水泵、高壓泵延時停機，并開啟大流量沖洗電磁閥，大流量沖洗反滲透膜，使膜表面水的濃度降低。當反滲透裝置連續運行時間達到設定值，開啟大流量沖洗電磁閥，大流量沖洗反滲透膜，使膜表面水的濃度降低。

中間水箱液位監控

中間水箱內設有高、中、低3點液位檢測裝置，將液位送至PLC，方便操作人員隨時掌握其水位，同時方便操作人員隨時進行控制。

中間水泵監控

中間水泵2臺，設計為一用一備運行方式，由PLC直接控制其啟動或停止，本系統可通過遠控、近控對其實施操作；中間水泵運行條件必須滿足于中間水箱達到一定液位；同時系統在操作臺上具備手動優先切換、選擇、啟停中間水泵的權力。

中間水泵監控

在運行期間，當檢測到EDI流量低于設定值時，如果熱繼電器有報警信號（水泵故障），即刻啟動備用水泵。如果熱繼電器無報警信號，即刻報警。

脫鹽水箱及脫鹽水泵控制

通過脫鹽水箱的液位檢測器，由控制器對其狀態進行采集，從而便操作人員隨時掌握其水位，并隨時進行控制操作，本系統只有當脫鹽水箱達到所要求液位時，才能運行其出水口的脫鹽水泵，當液位在低*，禁止運行脫鹽水泵。

各床隨機控制

前處理、反滲透、EDI的運行除了依據其對應的差壓開關電導率等在線檢測值外，還可根據產水時間或產水量大小設定值來進行綜合判斷。由于采用PLC控制器，大大提高了水處理系統自動化控制水平和對復雜工藝情況的適應性和各床的靈活性。

系統組成

系統由PLC用于現場設備控制，同時也對現場信號進行數據采集；并進行數據管理，監測與控制。

控制方式

控制方式分為手動、半自動、全自動。其中手動為優先控制。

手動控制

手動控制分為操作臺控制。

在操作臺中，可利用開關或按鈕來選擇啟停某臺設備，各床再生和某個系統的投入與停運等。

自動控制

自動可分為半自動控制與全自動控制。其中半自動優先于全自動。

控制條件主要依據時間、電導率、制水量、泵運行反饋信號、馬達故障反饋信號、閥門反饋信號等來組成系統程序條件。

當投入全自動時，控制器利用時間指標，制水量指標或化學水質指標信號進行綜合判斷各系統和運行、停止及各床和前處理系統運行沖洗等工作。半自動控制則由操作人員根據工藝情況，化學水質指標在相應的程序中按下某個按鈕或關閉某個閥門或啟動停止某組操作完成全自動的某一過程。
當整個系統處于全自動監控狀態，計算機地每一步操作依據控制器輸入模塊所采集的各種信號。如化學水質信號（電導率）；一些設備（電磁閥、馬達），故障反饋信號，當某臺儀表或設備處于不正常情況時，出現報警提示并在閃光報警器上報警要求人工來確定一些判斷結果，然后會自動處理進入下一步工作或要求轉入半自動工作狀態，自動運行投入前需要工程師對每一個閉環控制點參數進行檢查整定，以便達到控制要求。

實現功能

監控系統的設計對工藝設備的實時運行工況監督和控制，并對工藝參數、設備運行狀態進行實時顯示，并能對于一些異常工況或數據計算具有判斷處理，在線診斷提示處理，報警指導運行操作和排除異常工況等功能。工控機采集的是流量、電導率、電阻率等模擬輸入信號，在其生成的運行記錄中只有上述數值，壓力、液位等數據仍需人工記錄。

1、包括設備啟停狀態、差壓、閥門狀態及流速、流量、溫度、壓力、液位、電導率、PH值等檢測值。

2、產工藝設備進行控制，包括單體設備啟停、系統啟停、系統選擇、組合操作程序選擇及時間參數修改（運行時間與再生時間）、延時操作等。

3、對任一月、任一天、任一小時歷史數據及開關狀態進行動態曲線顯示。

清單配置及商務報價請。

采用成熟、可靠、*、自動化程度高的二級反滲透+EDI+精混床除鹽水處理工藝，確保處理后的超純水水質確保處理后出水電阻率達到18.2 MΩ.cm。EDI高純水制取設備關鍵設備及材料均采用主流*可靠產品，采用PLC＋觸摸屏控制，全套系統自動化程度高，系統穩定性高。大大節省人力成本和維護成本，水利用率高，運行可靠，經濟合理。使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

EDI超純水制取設備*益民水處理。我公司生產的，采用世界上*的反滲透膜元件作預處理再配上EDI連續電除鹽裝置,這是目前制取超純水，zui環保的超純水制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴.

EDI超純水制取設備 供應EDI高純水制取設備《益民水處理EDI高純水制取設備系統》廠家》十年老廠值得信賴
 

益民水處理是EDI超純水制取設備的專業生產廠家，我們公司專業生產二級反滲透＋EDI超純水制取設備，有多年的生產經驗，尤其在電控系統PLC方面在水處理行業技術都是比較成熟，我們也有做過很多各行業的水處理設備，這方面我們有豐富的經驗。我們公司做出來的設備質量比他們都有優勢，在國內具有一定的市場竟爭力。該產品由于具備性能好、*國外同類產品價格、供貨及時、售后服務方便快捷等諸多優勢。在LED、LCD、光電光學、太陽能光伏等企業的脫鹽水和超純水裝置，得到了業界的廣泛贊譽，歡迎廣大客戶前來參觀考察。EDI超純水制取設備常用的EDI模塊，簡單介紹有：

美國通用GE的E-CELL EDI模塊
美國electropure的EDI模塊
美國IONPURE公司的CEDI模塊
加拿大CANPURE CEDI模塊
加拿大OMEXELL EDI模塊

益民水處理是大的水處理設備生產基地之一，專業從事水處理行業近10年，服務過數百家客戶，提供近千套設備系統，公司制作成套水處理設備年總產能達5000T/H;年營收達數千萬元，公司以珠三角為基地，產品遍布全國30多個省市自治區，并成功打入市場，目前我公司生產的水處理設備已遠銷安哥拉、加納、印度尼西亞、澳大利亞、馬來西亞、埃塞俄比亞、迪拜，羅馬尼亞、尼日利亞、卡塔爾、南非等十多個國家，累計出口設備數量已達上百臺套。公司產品可廣泛應用于太陽能光伏、單/多晶硅、電子、電力、半導體、電鍍、化工、醫藥、食品飲料、漂染、冶金、輕工、化妝品、機械加工等行業。

公司發展歷程：
2003年，益民創立于廣東，致力于在中國推廣膜法水處理技術，注冊資金20,000,000元

2004年，益民進入鍋爐化學水、化工行業

2004年，益民開始執行ISO9001質量體系，加入中國膜工業協會、脫鹽協會

2005年，益民進入光電、電力、印染行業

2005年，益民服務的企業累計超過一百家

2006年，益民與美國通用公司、陶氏化學公司建立技術合作關系

2008年，益民服務的企業累計超過三百家，年營收*超過20,000,000元

2008年，益民進入光伏行業、回用水行業

2009年，益民獲準成為東莞市市政局博士后工作站科研基地

2010年，益民服務的企業累計超過五百家，年營收超50,000,000

2011年，產品遍布全國各地，并成功打入市場，在全國同行業中遙遙

今年，益民將會創造更多佳績……以“創，鑄百年強盛企業”為目標

【EDI超純水制取設備】產品特點

EDI超純水制取設備系統的優點

1. 無需酸堿再生： 在混床中樹脂需要用化學藥品酸堿再生， 且需要安全儲存酸堿的車間, 再生時有大量有害廢水和廢棄物需處理， 增加了環保和安全方面的工作困難。 而EDI則消除了這些有害物質的處理和繁重的工作。保護了環境。

2. 連續、簡單的操作： 在混床中由于每次再生和水質量的變化，使操作過程變得復雜，而EDI的產水過程是穩定的連續的， 產水水質是恒定的，沒有復雜的操作程序，操作大大簡便化。

3. 降低了安裝的要求：EDI系統與相當處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結構，可依據場地的高度和窨靈活地構造。 模塊化的設計， 使EDI在生產工作時能方便維護。

【EDI超純水制取設備】參數規格

EDI超純水制取設備規格型號。   

 
客戶可根據自身需求定制設備，產水量范圍0.5 m3/h-1000 m3/h可供選擇。

【EDI超純水制取設備】適用范圍

EDI超純水制取設備系統的應用領域
1、電廠化學水處理 
2、電子、半導體、精密機械行業超純水
3、食品、飲料、飲用水的制備  
4、小型純水站，團體飲用純水  
5、精細化工、精尖學科用水
6、其他行業所需的高純水制備
7、制藥工業工藝用水
8、海水、苦咸水的淡化
EDI技術出現，更進一步降低了運行成本，無酸堿消耗，對環境不造成任何污染，使我們真正進入綠色水處理的時代，且能耗少，每產水3.8m3/h，耗電1kw。目前，市場上常用的多為國外產品，如Ebara、Orgamo、Nomura、Nippon Rensui和Elga。但其共同特點是費用高。所以本產品如進行市場開拓，肯定會有良好的發展前景。其經濟效益和社會效益都會異常顯著。

【EDI超純水制取設備】檢測認證

ISO9001

【EDI超純水制取設備】工作原理

EDI超純水制取設備EDI是連續電再生除鹽裝置的英文縮寫，是電解、滲析及離子交換相結合的深度脫鹽裝置，由給水室、濃水室和電極室組成。給水室內裝填常規混合離子交換樹脂，給水室和濃水室之間裝有陽離子交換膜和陰離子交換膜。給水室中的陰（陽）離子在兩端電極作用下不斷通過裝置里的陰（陽）離子膜進入濃水室；H2O在直流電能的作用下可分解成H+和OH-，使給水室中的混合離子交換樹脂經常處于再生狀態，因而有深度除鹽能力。因此EDI在通電狀態下可以不斷地制出純水，其內填的離子交換樹脂不用酸堿再生。

    運用EDI技術使酸堿污染降低為零，且可降低成本及勞動強度。反滲透產水經過EDI裝置深度脫鹽處理后出水電阻率在16.0MΩ.cm（25℃）左右 。           

【EDI超純水制取設備】售后服務

項目質量保證書

質量承諾：
反滲透套設備全自動控制，自動運行，無須人員看守；
自動保護功能齊全，自動缺水、滿水保護，高壓泵自動低壓保護，高壓保護；
反滲透膜組件采用美國陶氏公司生產的BW30-400高通量高脫鹽率反滲透復合膜，材質為芳香族聚酰胺復合膜。
EDI設備采用美國IONPURE的LPLX30X模塊，LX-30X系列可在較低的操作壓力下獲得高水通量和脫鹽率
濾罐體采用優質碳鋼，水壓試驗耐壓0.80Mpa；
管材純水部分采用臺塑南亞集團出品的UPVC、超純水部分采用中國臺灣環琪出品的UPVC和高壓部分采用中國臺灣彰源的不銹鋼管材；
電氣控制采用德國西門子自動控制系統和電器采用中國臺灣士林電工集團正宗。
主機水泵均采用丹麥格蘭富不銹鋼水泵。
耗材采用國內優質品牌，保證出水質穩定。

13、項目售后服務保證書

專案名稱：EDI超純水制取設備。
售后服務條款：
培訓和指導甲方管理操作人員，提供設備操作說明書；
設備保質期一年，免費負責設備保質期內的非人為因素損壞的維修；
設備保質期之后終身負責提供技術咨詢及維修保養，收取成本費。接到服務需求后，48小時內到達現場；系統故障排除時間不超過1小時；如需設備更換則不超過72小時。
本公司*以成本價供應所需耗材、配件。
其它條款：不可抗拒因素：如果遇到不可抗拒力造成設備損壞（如臺風、地震、洪水等），雙方應相互協商，并及時通知對方可能出現的結果，力求友好解決，將損失降到zui低點。
其它未盡事宜，雙方協商解決。
維修：；