硅片清洗超純水設備硅材料單晶硅多晶硅產品清洗超純水設備

硅片清洗超純水設備硅材料單晶硅多晶硅產品清洗超純水設備在單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片、半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態或離子狀態，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數載流子壽命和表面電導；堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。所以單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片、半導體器件生產中必須用超純水，目前制取超純水工藝可分為反滲透+混床超純水設備，二是反滲透+EDI超純水設備，這是兩種制取超純水設備常用的工藝。超純水主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制，硅片氧化的水汽源，部分設備的冷卻水，配制電鍍液等。水中的堿金屬（K、Na等）會使絕緣膜耐壓不良，重金屬（Au、Ag、Cu等）會使PN結耐壓降低，III族元素（B、Al、Ga等）會使N型半導體特性惡化，V族素（P、As、Sb等）會使P型半導體特性惡化，水中細菌高溫碳化后的磷（約占灰分的20%~50%）會使P型硅片上的局部區域變化為N型硅而導致器件性能變壞。水中的顆粒（包括細菌）如吸附在硅片表面，就會引起電路短路或特性變差。

超純水中雜質的污染源      

1.水源的影響      

由于水是一種溶解能力很強的溶劑,因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2, 還有膠體（包括硅膠和腐殖質膠體）,天然水中還存在大量的非溶解性質,包括粘土、砂石、細菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。      

2.材料的影響    

制備超純水的材料設備的材質都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑，也引入大量的金屬、非金屬雜質，同時還會帶來有機污染。      

硅是地球上儲藏zui豐富的材料之一，從19世紀科學家們發現了晶體硅的半導體特性后，它幾乎改變了一切，甚至人類的思維。直到上世紀60年代開始，硅材料就取代了原有鍺材料。硅材料――因其具有耐高溫和抗輻射性能較好，特別適宜制作大功率器件的特性而成為應用zui多的一種半導體材料，目前的集成電路半導體器件大多數是用硅材料制造的。現在，我們的生活中處處可見“硅”的身影和作用，晶體硅太陽能電池是近15年來形成產業化zui快的。

熔融的單質硅在凝固時硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒，則這些晶粒平行結合起來便結晶成單晶硅。單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅，然后用直拉法或懸浮區熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅棒是生產單晶硅片的原材料，隨著國內和市場對單晶硅片需求量的快速增加，單晶硅棒的市場需求也呈快速增長的趨勢。

單晶硅圓片按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸（300毫米）及18英寸（450毫米）等。直徑越大的圓片，所能刻制的集成電路越多，芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片對材料和技術的要求也越高。單晶硅按晶體生長方法的不同，分為直拉法（CZ）、區熔法（FZ）和外延法。直拉法、區熔法生長單晶硅棒材，外延法生長單晶硅薄膜。直拉法生長的單晶硅主要用于半導體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。目前晶體直徑可控制在Φ3~8英寸。區熔法單晶主要用于高壓大功率可控整流器件領域，廣泛用于大功率輸變電、電力機車、整流、變頻、機電一體化、節能燈、電視機等系列產品。目前晶體直徑可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成電路領域。

由于成本和性能的原因，直拉法（CZ）單晶硅材料應用zui廣。在IC工業中所用的材料主要是CZ拋光片和外延片。存儲器電路通常使用CZ拋光片，因成本較低。邏輯電路一般使用價格較高的外延片，因其在IC制造中有更好的適用性并具有消除Latch－up的能力。
 

單晶硅也稱硅單晶，是電子信息材料中zui基礎性材料，屬半導體材料類。單晶硅已滲透到國民經濟和國防科技中各個領域，當今超過2000億美元的電子通信半導體市場中95%以上的半導體器件及99%以上的集成電路用硅。

多晶硅是由許多硅原子及許多小的晶粒組合而成的硅晶體。由于各個晶粒的排列方向彼此不同，其中有大量的缺陷。多晶硅一般呈深銀灰色，不透明，具有金屬光澤，性脆，常溫下不活潑。多晶硅是用金屬硅（工業硅）經化學反應、提純,再還原得到的高純度材料（也叫還原硅）。目前世界上多晶硅生產的方法主要有改良西門子法（SiHCl3）、新硅烷法（SiH4）、SiH2Cl2熱分解法、SiCl4法等多晶硅生產工藝。當前多晶硅的市場狀況是：從上來看，早幾年多晶硅還處于供過于求的局面，2004年開始，由于太陽能產業的發展，太陽能用多晶硅供不應求，導致多晶硅供應緊張。在國內，我國多晶硅生產*不能滿足國內市場需要，嚴重依賴于進口。

太陽能電池片,中文名稱:太陽能電池板 英文名稱:solar cell panel 定義:由若干個太陽能電池組件按一定方式組裝在一塊板上的組裝件.太陽能電池板 Solar panel,分類：晶體硅電池板：多晶硅太陽能電池、單晶硅太陽能電池。非晶硅電池板：薄膜太陽能電池、有機太陽能電池。太陽能電池板：太陽能電池板是太陽能發電系統中的核心部分，也是太陽能發電系統中價值zui高的部分。其作用是將太陽能轉化為電能，或送往蓄電池中存儲起來，或推動負載工作。太陽能電池板的質量和成本將直接決定整個系統的質量和成本。

超純水設備是指采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備，用于制取超純水的機器，超純水zui初是美國科技界為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，這種水中除了水分子（H20）外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為去離子水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。超純水設備行業水質標準超純水水質分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。

超純水設備技術發展史：

一代：預處理 -陽床-陰床-混床

第二代：預處理 -反滲透-混床

第三代：預處理 -反滲透-電去離子（EDI）

多晶硅片,半導體器件，太陽能光伏行業硅片清洗水質要求非常高，電阻率達18兆以上，目前*工藝是全膜法制取超純水，全膜法超純水設備是指采用盤濾+UF+RO+EDI+SMB組成的工藝設備，即預處理采用盤濾過濾器+超濾工藝，除鹽采用二級反滲透＋EDI工藝使産水電阻率達到15MΩ.cm以上，終端供水采用變頻供水泵＋二級精精混床＋終端超濾膜使産水電阻率達到18.2MΩ.cm，經處理后的產水水質達到《電子級水GB/T11446.1-1997 Ⅰ級》水質標準。

全膜法超純水設備該超純水設備關鍵技術EDI系電滲析（ED）和離子交換技術（DI）有機結合，達到連續除鹽、運行維護簡單、無酸堿排放污染。在膜處理系統中，用做前處理的超濾一般使用直徑1mm的中空纖維，以脫除原水中的懸浮物及膠體，UF用作前處理的zui大問題是膜污染及膜孔堵塞，為此常在前面設置預過濾器，以去除大粒徑懸浮物，在預過濾前加絮凝劑，如PAC（聚丙稀酸）可提高過濾水質，并降低膜阻力。對電廠鍋爐補給水系統要求的溶氧量一般要求為0.3 mg/L以下,為此脫氣膜應該在低于5.33Kpa（40TORR）的真空度下操作。控制系統采用工控機程控控制，可實現自動起停，加藥及沖洗，自動監測各種運行參數，以便生產管理。

全膜法超純水設備系統有如下優點：

1、連續運行禪水質穩定品質更佳。

2、系統運行可靠性穩定。

3、運行成本低。

4、占地面積小。

5、自動化程度高。

6、操作及維護簡單，無需接觸酸堿。

7、使用安全及環境良好。

8、無污水排放，無環境污染。

益民水處理生產的超純水設備處力：按客戶要求設計

出水指標：≥16-18.2MΩ．CM

產水用途：電子、單晶硅/多晶硅用工業超純水、純水、單晶硅多晶硅清洗超純水、硅片硅材料清洗超純水

我們公司專業生產全膜法超純水設備，有多年的生產經驗，尤其在電控系統PLC方面在水處理行業技術都是比較成熟，我們也有做過很多各行業的水處理設備，這方面我們有豐富的經驗。我們公司做出來的設備質量比他們都有優勢，在國內具有一定的市場竟爭力。該產品由于具備性能好、*國外同類產品價格、供貨及時、售后服務方便快捷等諸多優勢。在硅片，太陽能光伏，半導體，LED、LCD、光電光學企業的脫鹽水和超純水裝置，得到了業界的廣泛贊譽，歡迎廣大客戶前來參觀考察。益民爭創業內水處理竭誠為新老客人提供優質產品和技術服務。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能光伏電池硅片清洗超純水設備工藝

全膜法超純水設備在設備設計上，采用成熟、可靠、*、自動化程度高的兩級RO＋EDI水處理工藝，預處理采用盤濾過濾器+超濾工藝，除鹽采用二級反滲透＋EDI工藝使産水電阻率達到15MΩ.cm以上，終端供水采用變頻供水泵＋二級精精混床＋終端超濾膜確保處理后的超純水水質電阻率達到18.2MΩ.cm，利用率高，運行可靠，經濟合理。關鍵設備及材料均采用主流*可靠產品，采用PLC＋觸摸屏控制，全套系統自動化程度高，系統穩定性高。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片清洗超純水設備*益民水處理，我公司設計的超純水設備采用成熟、可靠、*、自動化程度高的二級反滲透+EDI+精混床除鹽水處理工藝，確保處理后的超純水水質確保處理后出水電阻率達到18.2 MΩ.cm。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能電池硅片清洗超純水設備關鍵設備及材料均采用主流*可靠產品，采用PLC＋觸摸屏控制，全套系統自動化程度高，系統穩定性高。大大節省人力成本和維護成本，水利用率高，運行可靠，經濟合理。使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

我們公司專業生產二級反滲透+EDI+精混床除鹽超純水設備，有多年的生產經驗，尤其在電控系統PLC方面在水處理行業技術都是比較成熟，我們也有做過很多各行業的水處理設備，這方面我們有豐富的經驗。我們公司做出來的設備質量*具有更大的優勢，在國內具有一定的市場竟爭力。該產品由于具備性能好、*國外同類產品價格、供貨及時、售后服務方便快捷等諸多優勢。在太陽能光伏、LED、LCD、半導體、光電光學企業的脫鹽水和超純水裝置，得到了業界的廣泛贊譽，歡迎廣大客戶前來參觀考察我公司的廠房及超純水設備工程案例。

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能光伏電池硅片清洗超純水設備部分案例：

東莞南波光伏科技有限公司 18MΩ·CM太陽能光伏工藝用水UF+二級RO+EDI+MB

亞洲硅業（青海）有限公司 18MΩ·CM多晶硅材料清洗用水UF+二級RO+EDI+MB

四川新光硅業科技有限責任公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二級RO+EDI+MB

青島昌盛日電太陽能科技有限公司 18MΩ·CM硅片清洗用水UF+二級RO+EDI+MB

宜昌南玻硅材料有限公司 18MΩ·CM硅材料清洗用水UF+二級RO+EDI+MB

江西晶科能源有限公司 18MΩ·CM太陽能工藝用水二級RO+EDI+MB

江西江特鋰電池材料有限公司  18MΩ·CM太陽能光伏電池生產用水二級RO+EDI+MB

江門市雁明貿易發展有限公司（羅馬尼亞） 18MΩ·CM太陽能光伏工藝用水UF+二級RO+EDI+MB

夏津奧德新能源有限公司 18MΩ·CM單晶硅片清洗用水UF+二級RO+EDI+MB

成都旭雙太陽能科技有限公司 18MΩ·CM太陽能光伏工藝用水UF+二級RO+EDI+MB

上海韓科電子科技有限公司 18MΩ·CM太陽能電池片清洗UF+二級RO+EDI+MB

我相信只有您實地考察，看了我們的廠房及工程設備，才會相信我們的實力，我們隨時歡迎您的到來。耐心解答您的咨詢，咨詢我們前，請您告訴我們幾個參數：

1.原水水源（自來水，地下水井水，河水，湖水...），除了自來水，其它的水源，需要提供水質報告，水源不一樣，處理工藝不一樣，費用就有很大的差別;

2.配置（需要配置還是一般配置，就是指水泵有國產的還是進口的，反滲透膜用海德能的還是陶氏的...）

3.控制（用PLC全自動控制,還是手動控制）

4.出水水質要達到什么標準，電阻率要達到多少，有什么用途，如果不知道，也沒關系，告訴我們您是做什么產品的，我們做給您設計出*符合您生產要求的方案。

應用場合：　

光伏電池及組件，晶體硅電池及組件、各類薄膜電池組件、聚光電池及系統,光伏相關零部件，蓄電池、充電器、控制器、轉換器、記錄儀、逆變器、監視器、支架系統、追蹤系統、太陽電纜等；

光伏應用產品，光伏太陽能照明、太陽能家用電器、太陽能信號燈、太陽能顯示屏、太陽能草坪燈及其他太陽能光電應用產品等光伏原材料，硅料、硅錠/硅塊、硅片、封裝玻璃、封裝薄膜、其他原料；

光伏工程及系統，太陽能建筑一體化應用、太陽能外墻及屋頂組件、光伏系統集成、農村光伏發電系統、太陽能檢測及控制系統、測量及控制系統、太陽能光伏工程程序控制和工程管理及軟件編制系統。

我們能夠提供的服務　　

1、原水水質分析　　

2、水處理工藝技術方案與工程設計　　

3、水處理項目投資報告、可行性分析　　

4、水處理系統安裝調試、技術施工服務　　

5、反滲透設備維護、清洗、保養及售后服務　　

6、技術培訓　　

7、工程施工管理及技術監督，跟蹤服務　　

8、反滲透膜的清洗、多種零件的更改

單晶硅/多晶硅/硅材料/太陽能光伏電池硅片清洗超純水設備的售后服務　　

1、負責所供設備的指導安裝調試。　　

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5、設立顧客滿意，隨時接受用戶咨詢。　　

6、分布在各地的售后服務人員將即時解決用戶使用中產生的問題。 　　

我公司專業生產硅片清洗超純水設備硅材料單晶硅多晶硅產品清洗超純水設備、半導體，多晶硅，光電，LED,LCD等行業用高純水、超純水設備，可根據你的需要定制各種型號。我們更專業你才能更放心 ，我們誠信服務讓你滿意100 。　 以*品質獲取市場信任，以優質服務贏得客戶信任

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