產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。可調節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。
主要功能
· 臺階高度:幾納米至1200μm
· 低觸力:0.03至15mg
· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 梯形失真校正:消除側視光學系統(tǒng)引起的失真
· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 緊湊尺寸:較小占地面積的臺式探針式輪廓儀
· 軟件:用戶友好的軟件界面
主要應用
· 臺階高度:2D臺階高度
· 紋理:2D粗糙度和波紋度
· 形式:2D翹曲和形狀
· 應力:2D薄膜應力
工業(yè)應用
· 大學,研究實驗室和研究所
· 半導體和復合半導體
· SIMS:二次離子質譜
· LED:發(fā)光二極管
· 太陽能
· MEMS:微電子機械系統(tǒng)
· 汽車
· 醫(yī)療設備
· 更多信息,請與我們聯(lián)系并探討您的要求