產品描述
P-7臺式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無需圖像拼接。作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。
主要功能
· 臺階高度:幾納米至1000μm
· 微力恒力控制:0.03至50mg
· 樣品全直徑掃描,無需圖像拼接
· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機
· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 軟件:簡單易用的軟件界面
· 生產能力:通過測序,模式識別和SECS/GEM實現全自動化
主要應用
· 臺階高度:2D和3D臺階高度
· 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
· 形狀:2D和3D翹曲和形狀
· 應力:2D和3D薄膜應力
· 缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌
工業應用
· 大學、研究實驗室和研究所
· 半導體和化合物半導體
· LED:發光二極管
· 太陽能
· MEMS:微機電系統
· 數據存儲
· 汽車
· 醫療設備
· 更多信息,請與我們聯系以滿足您的要求