產(chǎn)品簡介:
EVG GEMINI是一款全自動多腔室晶圓鍵合工藝平臺,實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動化,適用于大型量產(chǎn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù):
·支持12英寸(300mm)晶圓
·最多兼容4個(gè)鍵合腔室和6個(gè)預(yù)處理腔室
·兼容底部對準(zhǔn)、紅外對準(zhǔn)以及SmartView對準(zhǔn)
·可選配模塊:
低溫等離子體活化
晶圓清洗
涂膠模塊
UV固化模塊
烘烤/冷卻模塊
對準(zhǔn)驗(yàn)證模塊